近年來,以YBCO為代表的二代高溫超導(dǎo)帶材得到了廣泛的研究,高性能的YBCO超導(dǎo)帶材在高場(chǎng)磁體、大電流輸送等方面均有重要的應(yīng)用價(jià)值。MOCVD技術(shù)由于具有沉積速率高、結(jié)晶質(zhì)量好等特點(diǎn),目前在生長(zhǎng)半導(dǎo)體器件方面得到了廣泛應(yīng)用,用來生長(zhǎng)高溫超導(dǎo)層是個(gè)很有挑戰(zhàn)性的領(lǐng)域,對(duì)于YBCO帶材的商業(yè)化具有非常重要的意義。本論文以LaMnO3/homo-epi MgO/IBAD-MgO/SDPY2O3/Hastelloy alloy作為YBCO超導(dǎo)層的襯底基帶,采用MOCVD技術(shù)來展開對(duì)超導(dǎo)薄膜工藝的研究。研究?jī)?nèi)容主要包括以下幾個(gè)方面:1、超導(dǎo)層的MOCVD工藝研究,分別從三種金屬有機(jī)源的配比、基帶加熱溫度、薄膜厚度這幾個(gè)方面來展開。研究結(jié)果表明:在一定范圍內(nèi)提高Y（tmhd）3含量對(duì)YBCO薄膜的面內(nèi)面外生長(zhǎng)情況影響較小,但能有效提高YBCO薄膜表面的平整度;Ba含量的增加會(huì)使薄膜中a軸方向生長(zhǎng)加劇,臨界電流密度降低;增加有機(jī)源中Cu的比例,會(huì)減少薄膜表面的孔洞,改善薄膜的致密性,同時(shí)也會(huì)導(dǎo)致a軸晶粒增多,Jc值降低。而溫度實(shí)驗(yàn)結(jié)論是通過對(duì)不同加熱電流下制得的薄膜結(jié)構(gòu)和形貌的分析得知,加熱電流低時(shí),... 

【文章來源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：75 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

超導(dǎo)體的發(fā)展歷程

（a） （b）圖 1-2 YBCO 的缺氧型鈣鈦礦結(jié)構(gòu)。（a）正交相；（b）CuO2面和 CuO 鏈CO 是含有多種金屬元素的交替層狀結(jié)構(gòu)，具有各向異性，即 YB表面的外延生長(zhǎng)有多種可能，通常會(huì)沿著 c 軸方向、a 軸方向，還有

YBCO薄膜最常見的外延生長(zhǎng)取向（a）c軸取向（b）a軸取向（c）其它取向

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]Epitaxial growth of MOCVD-derived YBCO films by modulation of Cu（tmhd）2 concentration[J]. Jie Xiong,Fei Zhang,Xin Liu,Rui-Peng Zhao,Xiao-Hui Zhao,Bo-Wan Tao.  Rare Metals. 2014(01)
[2]YBCO超導(dǎo)帶材研究進(jìn)展[J]. 陶伯萬,熊杰,劉興釗,李言榮.  中國(guó)材料進(jìn)展. 2009(04)



本文編號(hào)：3076597