發(fā)布時(shí)間：2021-03-03 00:56

　　低粒子真空閥門(mén)是半導(dǎo)體、集成電路和光伏組件生產(chǎn)中不可缺少的設(shè)備,所以有著極高的質(zhì)量要求。低粒子真空閥門(mén)在工作過(guò)程中脫落的顆粒對(duì)產(chǎn)品的污染會(huì)造成重大經(jīng)濟(jì)損失,所以對(duì)生產(chǎn)的低粒子真空閥門(mén)進(jìn)行脫落顆粒檢測(cè)是未來(lái)行業(yè)必不可少的環(huán)節(jié),并且閥門(mén)的脫落顆粒數(shù)據(jù)將成為低粒子真空閥門(mén)的重要檢測(cè)指標(biāo)。目前低粒子真空閥門(mén)的生產(chǎn)和檢測(cè)技術(shù)都被國(guó)外企業(yè)壟斷,國(guó)內(nèi)針對(duì)低粒子閥門(mén)的研究也處于空白階段。本文設(shè)計(jì)了一套低粒子真空閥門(mén)分析驗(yàn)證平臺(tái),通過(guò)電氣控制系統(tǒng)模擬低粒子真空閥門(mén)在實(shí)際工況中的工作情況,完成對(duì)低粒子真空閥門(mén)脫落顆粒粒徑的檢測(cè)。具體內(nèi)容如下:（1）查閱國(guó)內(nèi)外文獻(xiàn)資料,并結(jié)合本課題的低粒子真空閥門(mén)制造工藝,分析閥門(mén)脫落顆粒來(lái)源,為下一步顆粒檢測(cè)方案設(shè)計(jì)提供參考依據(jù)。（2）分析目前的顆粒檢測(cè)技術(shù),針對(duì)本次顆粒檢測(cè)的實(shí)際情況和相關(guān)指標(biāo)等,對(duì)顆粒檢測(cè)方案進(jìn)行對(duì)比,選擇出適合本課題的顆粒檢測(cè)方案。（3）基于本文選擇的光散射顆粒粒度檢測(cè)方案,進(jìn)行分析驗(yàn)證平臺(tái)總體方案設(shè)計(jì)。其中包括真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)以及上位機(jī)監(jiān)控系統(tǒng)方案設(shè)計(jì)。（4）低粒子真空閥門(mén)分析驗(yàn)證平臺(tái)的硬件電路系統(tǒng)設(shè)計(jì)和軟件系統(tǒng)設(shè)計(jì)。對(duì)以PLC為控制核心的測(cè)控系... 

【文章來(lái)源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：81 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

晶圓穿越低粒子真空閥門(mén)

電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文24圖3-3低粒子真空閥門(mén)分析驗(yàn)證平臺(tái)總體架構(gòu)圖3.4上位機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)本課題采用LabVIEW進(jìn)行監(jiān)控操作界面的設(shè)計(jì)�？删幊踢壿嬁刂破鱌LC和LabVIEW程序設(shè)計(jì)作為兩種新興的控制語(yǔ)言[46]，具有可靠性高、功能完善、易于學(xué)習(xí)和維護(hù)方便的優(yōu)點(diǎn)。本課題設(shè)計(jì)了基于PLC和LabVIEW的低粒子真空閥門(mén)分析驗(yàn)證平臺(tái)測(cè)控系統(tǒng)的監(jiān)控系統(tǒng)。上位機(jī)LabVIEW與下位機(jī)PLC利用PLC自帶的以太網(wǎng)接口，采用TCP/IP協(xié)議進(jìn)行通信，實(shí)現(xiàn)上位機(jī)的實(shí)時(shí)高效的監(jiān)控。3.5PLC控制系統(tǒng)方案設(shè)計(jì)PLC的電氣控制系統(tǒng)主要包含硬件系統(tǒng)和軟件系統(tǒng)兩部分，主要包括功能分析、機(jī)型選擇、外圍電路設(shè)計(jì)、程序設(shè)計(jì)和聯(lián)機(jī)調(diào)試等步驟，控制系統(tǒng)的具體方案設(shè)計(jì)如圖3-4所示。

電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文30本課題設(shè)計(jì)的真空腔工作壓力-3=110Pagp，所以有效抽速計(jì)算結(jié)果是S9.83L/s。真空室與主泵之間的管道流導(dǎo)U151.8L/s，主泵的抽速PS根據(jù)有效抽速S以及與真空室的連接管道的流導(dǎo)U代入式(4-3)計(jì)算得10.51[/]pSUSLsUS(4-3)在選用主泵抽速是，通常比計(jì)算的主泵的抽速大20%~50%�？紤]到本課題中真空結(jié)構(gòu)管路較長(zhǎng)、管道較細(xì)、流阻較大。因此選擇了抽速為計(jì)算值3倍以上的主泵。本論文中采用了川北真空科技有限公司生產(chǎn)型號(hào)為CFB-70的復(fù)合分子泵作為主泵。分子泵實(shí)物圖如圖4-2所示。此小型分子泵具有工作振動(dòng)孝噪聲低，在分子流時(shí)抽速大、壓縮比高且無(wú)油和蒸汽污染等特點(diǎn)。分子泵的主要參數(shù)如表4-2所示。分子泵采用24VDC供電電源直接供電，由于本項(xiàng)目中只需要分子泵額定功率運(yùn)行，不需要對(duì)分子泵進(jìn)行轉(zhuǎn)速控制，所以可以采用直接對(duì)分子泵的供電電源通斷進(jìn)行控制從而控制分子泵的啟停。圖4-2復(fù)合分子泵表4-2CFB-70復(fù)合分子泵主要參數(shù)進(jìn)氣口規(guī)格LF63排氣口規(guī)格KF16抽速N2(L/s)65壓縮比N2＞5×109轉(zhuǎn)速(r/min)72000極限真空(Pa)＜1×10-6（二）前級(jí)泵的配置主泵（分子泵）的參數(shù)確定后，需要根據(jù)主泵的抽速對(duì)前級(jí)泵的參數(shù)進(jìn)行計(jì)算。由于分子泵正常工作時(shí)處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，直接對(duì)大氣排氣會(huì)損壞葉片，因此需要

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本文編號(hào)：3060282