發(fā)布時間：2021-03-03 00:56

　　低粒子真空閥門是半導體、集成電路和光伏組件生產(chǎn)中不可缺少的設備,所以有著極高的質(zhì)量要求。低粒子真空閥門在工作過程中脫落的顆粒對產(chǎn)品的污染會造成重大經(jīng)濟損失,所以對生產(chǎn)的低粒子真空閥門進行脫落顆粒檢測是未來行業(yè)必不可少的環(huán)節(jié),并且閥門的脫落顆粒數(shù)據(jù)將成為低粒子真空閥門的重要檢測指標。目前低粒子真空閥門的生產(chǎn)和檢測技術(shù)都被國外企業(yè)壟斷,國內(nèi)針對低粒子閥門的研究也處于空白階段。本文設計了一套低粒子真空閥門分析驗證平臺,通過電氣控制系統(tǒng)模擬低粒子真空閥門在實際工況中的工作情況,完成對低粒子真空閥門脫落顆粒粒徑的檢測。具體內(nèi)容如下:（1）查閱國內(nèi)外文獻資料,并結(jié)合本課題的低粒子真空閥門制造工藝,分析閥門脫落顆粒來源,為下一步顆粒檢測方案設計提供參考依據(jù)。（2）分析目前的顆粒檢測技術(shù),針對本次顆粒檢測的實際情況和相關(guān)指標等,對顆粒檢測方案進行對比,選擇出適合本課題的顆粒檢測方案。（3）基于本文選擇的光散射顆粒粒度檢測方案,進行分析驗證平臺總體方案設計。其中包括真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)以及上位機監(jiān)控系統(tǒng)方案設計。（4）低粒子真空閥門分析驗證平臺的硬件電路系統(tǒng)設計和軟件系統(tǒng)設計。對以PLC為控制核心的測控系... 

【文章來源】：電子科技大學四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：81 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

晶圓穿越低粒子真空閥門

電子科技大學碩士學位論文24圖3-3低粒子真空閥門分析驗證平臺總體架構(gòu)圖3.4上位機系統(tǒng)設計本課題采用LabVIEW進行監(jiān)控操作界面的設計�？删幊踢壿嬁刂破鱌LC和LabVIEW程序設計作為兩種新興的控制語言[46]，具有可靠性高、功能完善、易于學習和維護方便的優(yōu)點。本課題設計了基于PLC和LabVIEW的低粒子真空閥門分析驗證平臺測控系統(tǒng)的監(jiān)控系統(tǒng)。上位機LabVIEW與下位機PLC利用PLC自帶的以太網(wǎng)接口，采用TCP/IP協(xié)議進行通信，實現(xiàn)上位機的實時高效的監(jiān)控。3.5PLC控制系統(tǒng)方案設計PLC的電氣控制系統(tǒng)主要包含硬件系統(tǒng)和軟件系統(tǒng)兩部分，主要包括功能分析、機型選擇、外圍電路設計、程序設計和聯(lián)機調(diào)試等步驟，控制系統(tǒng)的具體方案設計如圖3-4所示。

電子科技大學碩士學位論文30本課題設計的真空腔工作壓力-3=110Pagp，所以有效抽速計算結(jié)果是S9.83L/s。真空室與主泵之間的管道流導U151.8L/s，主泵的抽速PS根據(jù)有效抽速S以及與真空室的連接管道的流導U代入式(4-3)計算得10.51[/]pSUSLsUS(4-3)在選用主泵抽速是，通常比計算的主泵的抽速大20%~50%�？紤]到本課題中真空結(jié)構(gòu)管路較長、管道較細、流阻較大。因此選擇了抽速為計算值3倍以上的主泵。本論文中采用了川北真空科技有限公司生產(chǎn)型號為CFB-70的復合分子泵作為主泵。分子泵實物圖如圖4-2所示。此小型分子泵具有工作振動孝噪聲低，在分子流時抽速大、壓縮比高且無油和蒸汽污染等特點。分子泵的主要參數(shù)如表4-2所示。分子泵采用24VDC供電電源直接供電，由于本項目中只需要分子泵額定功率運行，不需要對分子泵進行轉(zhuǎn)速控制，所以可以采用直接對分子泵的供電電源通斷進行控制從而控制分子泵的啟停。圖4-2復合分子泵表4-2CFB-70復合分子泵主要參數(shù)進氣口規(guī)格LF63排氣口規(guī)格KF16抽速N2(L/s)65壓縮比N2＞5×109轉(zhuǎn)速(r/min)72000極限真空(Pa)＜1×10-6（二）前級泵的配置主泵（分子泵）的參數(shù)確定后，需要根據(jù)主泵的抽速對前級泵的參數(shù)進行計算。由于分子泵正常工作時處于高速運動狀態(tài)，直接對大氣排氣會損壞葉片，因此需要

【參考文獻】：
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本文編號：3060282