針對(duì)當(dāng)前分子泵抽速測(cè)試裝置自動(dòng)化程度低,壓強(qiáng)實(shí)驗(yàn)點(diǎn)難以調(diào)節(jié)等問題,設(shè)計(jì)出一套分子泵抽速自動(dòng)測(cè)試軟件,以LabVIEW為軟件開發(fā)平臺(tái),采用RS485通信實(shí)現(xiàn)對(duì)真空計(jì)、氣體質(zhì)量流量控制計(jì)、溫度控制儀的數(shù)據(jù)采集和設(shè)備控制;采用PID控制方法調(diào)節(jié)氣體質(zhì)量流量控制計(jì)的通氣量,實(shí)現(xiàn)對(duì)壓強(qiáng)實(shí)驗(yàn)點(diǎn)的穩(wěn)定控制;采用繼電型PID參數(shù)自整定技術(shù)提高算法對(duì)系統(tǒng)的適應(yīng)性、該軟件提高了分子泵抽速測(cè)量工作中數(shù)據(jù)采集和壓強(qiáng)調(diào)節(jié)的自動(dòng)化程度,減少了人員操作對(duì)測(cè)量過程的影響,使測(cè)試過程更加科學(xué)規(guī)范,對(duì)分子泵抽速測(cè)試技術(shù)研究和應(yīng)用具有一定參考價(jià)值。 

【文章來源】：真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2020,40(07)北大核心

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
1 分子泵抽速的測(cè)量原理及裝置
    1.1 流量法測(cè)量分子泵抽速測(cè)量原理
    1.2 分子泵抽速測(cè)試裝置原理結(jié)構(gòu)
2 分子泵抽速測(cè)試系統(tǒng)軟件設(shè)計(jì)
    2.1 測(cè)量?jī)x器數(shù)據(jù)通信設(shè)計(jì)
    2.2 數(shù)據(jù)采集設(shè)計(jì)
    2.3 壓強(qiáng)控制算法設(shè)計(jì)
        2.3.1 PID控制器的基本結(jié)構(gòu)
        2.3.2 繼電反饋PID自整定方法
    2.4 人機(jī)界面設(shè)計(jì)
3 測(cè)試結(jié)果與分析
    3.1 壓強(qiáng)控制
    3.2 抽速測(cè)試


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：2974589