透明導(dǎo)電薄膜（Transparent conducting films,TCFs）是指在可見(jiàn)光（波長(zhǎng)在380⁷60nm）范圍內(nèi)的透光率為74%⁹0%,方塊電阻為幾十歐姆的導(dǎo)電薄膜。它是一種重要的光電信息材料,作為前電極被廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池、平面液晶顯示器、傳感器、飛機(jī)汽車(chē)擋風(fēng)玻璃。透明導(dǎo)電薄膜的代表為銦錫氧化物透明導(dǎo)電薄膜（ITO）。此薄膜價(jià)格昂貴且脆性大,應(yīng)用時(shí)厚度要求大于300nm,很難制成柔性電極。石墨烯具有良好的導(dǎo)電性、透光性、熱學(xué)性能,強(qiáng)度大且超薄,同時(shí)石墨烯又具有可撓曲性,因此柔性石墨烯透明導(dǎo)電薄膜可以替代傳統(tǒng)的脆性透明導(dǎo)電薄膜。但是石墨烯只有單層、雙層或幾層碳原子層厚,耐劃傷性不理想,容易被破壞,進(jìn)而失去它優(yōu)異的特性。因此,如何制備出良好的石墨烯保護(hù)膜十分重要且有意義。本文旨在雙層石墨烯/PET（dg/PET）基體上制備出石墨烯保護(hù)膜,使復(fù)合薄膜保持石墨烯的光電性能基本不變的同時(shí),獲得可撓曲性,并起到保護(hù)石墨烯的作用。分別采用磁控濺射和真空蒸鍍兩種制備方法,在dg/PET上制備ZnO、TiN、GaN三種不同材料的薄膜。分別采用... 

【文章來(lái)源】：遼寧科技大學(xué)遼寧省

【文章頁(yè)數(shù)】：59 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

磁控濺射原理圖

(a)真空蒸鍍鍍膜機(jī)示意圖(b)真空室內(nèi)部示意圖

復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)示意圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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