隨著科學技術的不斷創(chuàng)新,光學工業(yè)、航空航天、精密加工等行業(yè)取得了長足的進步,工業(yè)工程已經(jīng)步入精密、超精密時代。精密裝備對周圍環(huán)境振動影響極為敏感,系統(tǒng)較為復雜,往往輸入荷載的微小變化會引起振動響應產生較大的誤差,輸入荷載的不確定性會在計算結果中得到嚴重放大,嚴重影響分析和設計的精準性。為了保證精密裝備的正常使用,必須對影響精密裝備的振動進行高效的控制。本文介紹了高性能氣浮平臺的隔振原理及設計方案,針對目前常規(guī)設計流程中存在的問題及不足,提出了一種高效的氣浮平臺振動控制設計方案,在中科院納米所精密裝備的振動控制項目中,以該設計方案作為指導,對精密設備周圍環(huán)境振動水平做出準確評價,獲取環(huán)境振動卓越頻率,使用Ansys有限元軟件計算分析氣浮平臺的隔振性能,結合建筑結構和環(huán)境要求確定氣浮平臺設計參數(shù),最后提出適用于類似工程的不停機無損施工技術,研究結論可為氣浮平臺的應用提供理論基礎和技術指導。
【學位單位】：河北工程大學
【學位級別】：碩士
【學位年份】：2018
【中圖分類】：TB535.1
【部分圖文】：

河北工程大學碩士學位論文建筑安全健康服役提供高效快速地建設和維護手段，為高精度、高價值、關鍵性工業(yè)裝備量體裁衣、提供強有力的精確監(jiān)控，為高端制造業(yè)和智能制造為主的工業(yè)穩(wěn)步發(fā)展保駕護航。1.3 氣浮平臺的構成氣浮平臺是一種高效的振動控制裝置，主要由臺體、隔振元件空氣彈簧及高度控制裝置組成，可以根據(jù)外界環(huán)境振動輸入，調整空氣彈簧內可變氣體的力學交換方式，改變空氣彈簧的剛度及阻尼比，優(yōu)化裝置的動力特性，并自動實現(xiàn)跟蹤調平，從而實現(xiàn)對振動的高效控制，其控制靈敏度可達微米級。氣浮平臺的構成如圖 1-1 所示。

第 2 章 氣浮平臺振動控制系統(tǒng)的分析理論2.1.2 氣浮平臺隔振系統(tǒng)的基本原理常見的單級隔振系統(tǒng)如圖 2-2 所示，其中受控對象是一個剛性質量塊，隔振器由理想彈簧和理想阻尼器并聯(lián)而成的無質量元件，地基是質量無窮大的剛體。圖(a)表示激勵直接作用于受控對象，圖(b)表示激勵通過隔振系統(tǒng)傳遞至受控對象。

圖 2-3 穩(wěn)定區(qū)域與彈簧位置關系Figure 2-3 Stability relationship between the stable area and the spring圖 2-3 中矩形表示隔振平臺臺面，圓圈代表平臺下方的空氣彈簧，灰格在不同空氣彈簧分布下的穩(wěn)定區(qū)域。當工作臺和負載的整體重心落簧支撐件的中心點形成的灰色區(qū)域內時，平臺不會翻倒。氣彈簧的分布影響桌子的位置。由于三個點可以確定平面，因此平臺一的。當使用三個以上的空氣彈簧時，工作臺的位置由主軸承作用的簧確定，當姿態(tài)改變時。同時，載荷分布也會發(fā)生變化，導致主載荷布，導致姿態(tài)再次發(fā)生變化。因此，三個以上支架的工作臺位置的調，必須進行合理的設計[43-45]。 臺面位置控制了確保受控對象具有相對穩(wěn)定的位置精度，需要控制平臺的位置。平生變化，空氣彈簧的內部壓力由高精度閥門自動調節(jié)，以確保平臺的高多個空氣彈簧支撐，空氣彈簧彼此獨立。每個空氣彈簧的高度控制可

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