【摘要】：可見(jiàn)光高透-中遠(yuǎn)紅外高反濾光片可廣泛應(yīng)用于各種衛(wèi)星的多波段掃描光譜儀,成像光譜儀和太陽(yáng)能等方面而引起越來(lái)越多的關(guān)注。如何提高其在可見(jiàn)區(qū)的透射率和中遠(yuǎn)紅外的反射率進(jìn)而提高其在這些方面的應(yīng)用,更有效地實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)的可見(jiàn)、中遠(yuǎn)紅外波段探測(cè),及其在軍事上的特殊應(yīng)用均已成為研究的熱點(diǎn)。本文對(duì)可見(jiàn)區(qū)高透-中遠(yuǎn)紅外高反射的濾光片進(jìn)行了研制。首先確定了鍍制該濾光片所需的薄膜材料為ZnS和Ag,進(jìn)而采用電阻熱蒸發(fā)沉積技術(shù)鍍制了不同厚度的極薄銀薄膜,采用橢偏法和有效介質(zhì)理論研究了極薄銀薄膜的特性,給出了極薄銀薄膜的光學(xué)常數(shù),分析了其變化規(guī)律。在此基礎(chǔ)上,對(duì)膜系進(jìn)行了設(shè)計(jì)、優(yōu)化、分析,用TFCalc膜系設(shè)計(jì)軟件最終設(shè)計(jì)的膜系為ZnS(35nm)/Ag(13nm)/ZnS(36nm)。然后,采用電子束熱蒸發(fā)沉積技術(shù)研究了單層ZnS的鍍制工藝,給出了 ZnS薄膜的制備工藝參數(shù)和厚度控制方法。最后,試制了該濾光片,并采用紫外可見(jiàn)-近紅外分光光度計(jì)測(cè)試了鍍制的濾光片在可見(jiàn)區(qū)的透射率,用紅外傅里葉變換光譜儀測(cè)試了其在中遠(yuǎn)紅外的反射率。測(cè)試結(jié)果表明,鍍制的濾光片在400-700nm的平均透射率Tave=87.15%,最大透射率Tmax=90.53%,在3-12μm波段范圍內(nèi)平均反射率Rave=95.07%,滿足指標(biāo)要求。
【圖文】：

是一門(mén)應(yīng)用非常廣泛、綜合性非常強(qiáng)的科學(xué)技激光、紅外和 CCD 等各個(gè)方面提供了技術(shù)，度，使得這些光電子器件在保證其高性能的基至紅外光的寬波段實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的應(yīng)用。當(dāng)今，尤要求更小的體積，更輕的重量，卻需要更復(fù)雜大的困難。寬光譜的共窗口的形式解決了這樣能經(jīng)過(guò)不同通道傳送信號(hào)給傳感器。在某軍事0nm-950nm 的電視波段，在 1064nm 的激光和光電探測(cè)器[1]，就必須鍍制一定的濾光片實(shí)現(xiàn)的探測(cè)性能。的特征，還可以對(duì)這個(gè)目標(biāo)在連續(xù)的一段較寬一部分光學(xué)結(jié)構(gòu)如圖 1.1 所示，其核心部分的

圖 1.2 技術(shù)路線圖本課題首先利用分光光度法結(jié)合橢偏法研究了極薄銀的光學(xué)常數(shù)，隨后利用有效介質(zhì)理論模擬了以銀和空氣為有效介質(zhì)的兩種材料的光學(xué)常數(shù)，在對(duì)極薄銀有充分的認(rèn)識(shí)后，對(duì)單層的 ZnS 的非規(guī)整膜層進(jìn)行工藝控制的研究。在對(duì)單層薄膜的研究基礎(chǔ)上利用TFCalc 膜系設(shè)計(jì)軟件對(duì)膜系進(jìn)行設(shè)計(jì)，最后鍍制滿足要求的膜系。1.3.3 論文章節(jié)安排全文共分為五章。第一章緒論部分介紹了相關(guān)濾光片和極薄銀薄膜的背景、意義、國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀，給出了本文研究的技術(shù)路線；第二章極薄銀的光學(xué)常數(shù)的研究，主要為用非接觸式輪廓儀、分光光度計(jì)和橢偏儀擬合極薄銀的光學(xué)常數(shù)，通過(guò)掃描電鏡獲取極薄銀的表面形貌，，最后采用有效介質(zhì)理論對(duì)極薄銀進(jìn)行進(jìn)一步的研究；第三章用 TFCalc 膜系設(shè)計(jì)軟件對(duì)可見(jiàn)光高透，中遠(yuǎn)紅外高反射膜系進(jìn)行設(shè)計(jì)，并對(duì)設(shè)計(jì)的膜系進(jìn)行允差分析，為后面的鍍制工藝提供參考；第四章對(duì)單層 ZnS 非規(guī)整膜進(jìn)行工藝研究，準(zhǔn)確控制 ZnS 的厚度，對(duì)設(shè)計(jì)的膜系進(jìn)
【學(xué)位授予單位】：西安工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2019
【分類(lèi)號(hào)】：O484.41

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本文編號(hào)：2612135