【摘要】：采用金剛石超薄鋸片對(duì)單晶硅劃片的工藝會(huì)在劃片時(shí)產(chǎn)生較大鋸切力,從而導(dǎo)致較大的崩邊損傷。而旋轉(zhuǎn)超聲輔助加工由于超聲振動(dòng)的作用可以減小加工時(shí)所產(chǎn)的切削力,同時(shí)獲得較好的加工精度,越來(lái)越廣泛地應(yīng)用于硬脆材料的加工中。為了驗(yàn)證超聲輔助對(duì)單晶硅劃片中鋸切力的作用,在實(shí)驗(yàn)中將超聲振動(dòng)添加到鋸片上,使其產(chǎn)生徑向的振動(dòng)來(lái)完成對(duì)單晶硅的劃片。并通過(guò)對(duì)比有超聲振動(dòng)輔助與無(wú)超聲振動(dòng)輔助的單晶硅劃片的鋸切力,對(duì)超聲振動(dòng)輔助劃片中鋸切力的特點(diǎn)進(jìn)行分析。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,超聲輔助劃片所產(chǎn)生的鋸切力比無(wú)超聲輔助劃片所產(chǎn)生的鋸切力小,說(shuō)明超聲振動(dòng)的添加可以降低鋸切力。同時(shí)在超聲劃片中產(chǎn)生的崩邊要小于非超聲加工條件下的崩邊情況,說(shuō)明超聲振動(dòng)降低鋸切力可抑制硅片的崩邊。

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1 鮑善惠,周光平,丁大成;關(guān)于超聲振動(dòng)切削刀具的激振問(wèn)題——與趙繼等同志商榷[J];聲學(xué)學(xué)報(bào);1993年03期

2 何R，

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