【摘要】：十多年前開始在真空電子技術(shù)相關(guān)工藝設(shè)備中應(yīng)用低溫泵、干泵無油系統(tǒng)來獲得超高真空,效果滿意。這次嘗試將低溫泵快速、潔凈和可靠的獨特優(yōu)勢應(yīng)用到真空爐中。將低溫泵并入真空系統(tǒng)中,達到清潔的超高真空環(huán)境。本文以實例介紹了低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用;重點介紹了低溫泵真空系統(tǒng)的設(shè)計思路,真空系統(tǒng)的主要配置和注意事項,低溫泵的選型計算,并用圖示方法詳細介紹了低溫泵系統(tǒng)的安裝、使用和維護等環(huán)節(jié)。對同類真空爐的研發(fā)和低溫泵的應(yīng)用都有參考價值。通過嚴格把關(guān)各研發(fā)環(huán)節(jié),按照超高真空規(guī)范進行清洗,除氣和烘烤,最后真空爐的極限壓力達到了2×10~(-7)Pa,將常規(guī)的真空爐極限壓力延伸了近一個數(shù)量級。

【相似文獻】

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