【摘要】：超聲波清洗方式超過一般的常規(guī)清洗方法，特別是工件的表面比較復(fù)雜像一些表面凹凸不平、有盲孔的機械零部件，一些特別小而對清潔度有較高要求的產(chǎn)品如：半導(dǎo)體產(chǎn)品、wafer晶圓、鐘表和精密機械的零件、電子元器件、電路板組件等，使用超聲波清洗都能達到很理想的效果。 本文介紹了超聲波特性參數(shù)對wafer清洗效果的影響機理，，從超聲波設(shè)備原理、頻率、影響超聲波清洗因素等方面進行詳細講述和實驗優(yōu)化，最終找到合適的清洗工藝參數(shù)，解決了wafer清洗異常問題，同時滿足客戶對潔凈度要求，使得wafer產(chǎn)品得以量產(chǎn)。 在實際生產(chǎn)過程中出現(xiàn)的清洗缺陷如鉻膜白斑、細點、白霧、清洗劃痕、膠點等對wafer的質(zhì)量影響較大，甚至導(dǎo)致整批產(chǎn)品報廢。本課題通過以下3個方面來達到正確、合理選擇超聲波參數(shù)目的： 1、系統(tǒng)闡述超聲波設(shè)備的構(gòu)成、工作原理 2、超聲波頻率的選擇，詳細闡述超聲波和兆聲波工作方式和原理 3、總結(jié)影響wafer超聲波清洗的因素及超聲波無損傷清洗方法
【圖文】：

圖 1-2C：DLP Pico 便攜投影儀：DLP Pico 投影技術(shù)是一種尖端的成像創(chuàng)新技術(shù)。投影儀的用途提升到一個全新的水平。DLP Pico 投影儀的用途無窮無盡。在的后座板上觀看電影。在天花板上玩視頻游戲。在派對上與您的朋友共享視片。DLP Pico 手持投影儀可輕易放入口袋。如果您想共享圖片和視頻、觀看

DLP Pico 手持投影儀可輕易放入口袋。如果您想共享圖片和視頻、觀看影、玩視頻游戲或網(wǎng)上沖浪，只需打開投影儀和要進行的項目。DLP Pico 投影將被置于眾多手機模型中，并且將會推出更多的類似產(chǎn)品。它是方便性與多媒發(fā)展的最終結(jié)合。而且它將成為新手機的下一個“必備”特性。
【學(xué)位授予單位】：天津大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2014
【分類號】：TB490;TB559

【參考文獻】

相關(guān)期刊論文 前6條

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本文編號：2552449