發(fā)布時間：2019-01-05 16:54

【摘要】：類金剛石(DLC)薄膜由于其獨特的性能作為功能薄膜受到廣泛的關(guān)注與研究。本文采用射頻磁控濺射技術(shù)在玻璃上沉積DLC薄膜,旨在提高玻璃抗劃傷能力。為了解決DLC薄膜在實際使用中容易脫落這一問題,設(shè)計了碳硅氧(SiOC)薄膜作為過渡層,以提高DLC薄膜與玻璃間的結(jié)合性能,滿足實際使用的需求。為了掌握磁控濺射工藝參數(shù)的變化對于DLC、SiOC薄膜性能的影響,為工業(yè)化應(yīng)用及生產(chǎn)提供更好的參考。對濺射功率、工作氣壓、基底溫度及氬氣流量等工藝參數(shù)進(jìn)行了研究,為工業(yè)化應(yīng)用及生產(chǎn)提供更好的參考。主要內(nèi)容如下:1、論述了 DLC及SiOC薄膜的主要結(jié)構(gòu)、性能、制備方法及應(yīng)用領(lǐng)域,闡明了課題的研究背景及選題依據(jù)。2、論述了磁控濺射技術(shù)基本原理、實驗中所使用的儀器的構(gòu)造及相應(yīng)的技術(shù)參數(shù)指標(biāo)。確定利用石墨靶及碳硅氧陶瓷靶作為薄膜的制備原料,設(shè)計了合理的實驗方案和檢測表征手段。3、研究了濺射功率、工作氣壓、基底溫度及氬氣流量對于DLC及SiOC薄膜結(jié)構(gòu)成分、透過率及光學(xué)帶隙等性能的影響。掌握了所研究的工藝參數(shù)對薄膜的影響規(guī)律及分析討論了原因。4、在玻璃基底上制備了不同的SiOC-DLC復(fù)合薄膜,利用UMT模塊對其摩擦磨損性能進(jìn)行了測試。結(jié)果表明:具有SiOC過渡層結(jié)構(gòu)的DLC薄膜耐磨性能良好,可以對玻璃起到良好的保護(hù)作用。
[Abstract]:Diamond-like carbon (DLC) films have been widely studied as functional thin films due to their unique properties. DLC thin films were deposited on glass by RF magnetron sputtering in order to improve the scratch resistance of glass. In order to solve the problem of easy shedding of DLC thin films in practical use, the carbon-silicon-oxygen (SiOC) thin films are designed as transition layers to improve the binding properties between DLC thin films and glass, and to meet the practical needs. In order to understand the influence of the technological parameters of magnetron sputtering on the properties of DLC,SiOC films, a better reference is provided for industrial application and production. The parameters of sputtering power, working pressure, substrate temperature and argon flow are studied, which provides a better reference for industrial application and production. The main contents are as follows: 1. The main structure, properties, preparation methods and application fields of DLC and SiOC thin films are discussed. The structure of the instrument used in the experiment and the corresponding technical parameters. Graphite target and carbon-silicon oxide ceramic target are used as raw materials for the preparation of thin films. A reasonable experimental scheme and measuring and characterizing method are designed. 3. Sputtering power and working pressure are studied. The effects of substrate temperature and argon flow rate on the structure, transmittance and optical band gap of DLC and SiOC films were investigated. The influence of the process parameters on the film was studied and the reasons were discussed. 4. Different SiOC-DLC composite films were prepared on glass substrates. The friction and wear properties of the films were tested by UMT module. The results show that the DLC thin films with SiOC transition layer have good wear resistance and can protect the glass.
【學(xué)位授予單位】：海南大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2017
【分類號】：TB383.2

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6 林s，

本文編號：2402047