【摘要】：針對(duì)目前大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率都是在He和入口壓力為100 kPa下的漏率,采用定容變壓法校準(zhǔn)了銘牌漏率為2.3×10~(-6)Pa·m~3/s的標(biāo)準(zhǔn)真空漏孔在使用H_2、He、D_2三種氣體時(shí),在不同入口壓力下的漏率。預(yù)先對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行了加熱除氣后計(jì)算了系統(tǒng)本底漏率大小,并探討了本底漏率對(duì)校準(zhǔn)漏孔漏率的影響。結(jié)合粘滯流-分子流理論研究了不同氣體和漏孔入口壓力對(duì)漏孔漏率的影響。
[Abstract]:In view of the fact that the leakage rate of most standard holes is at He and the inlet pressure is 100 kPa, the standard vacuum leakage rate of 2.3 脳 10 ~ (-6) Pa / m ~ (3 / s) has been calibrated by constant volume pressure method. Leakage rate at different inlet pressures for three gases D _ 2. After heating and degassing the system background leakage rate was calculated and the effect of background leakage rate on calibration leakage rate was discussed. The effects of different gas and hole inlet pressure on leakage rate were studied by means of viscosis-molecular flow theory.
【作者單位】： 表面物理與化學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;四川大學(xué)原子與分子物理研究所;中國(guó)工程物理研究院;
【分類號(hào)】：TB77

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