【摘要】：采用溶膠-凝膠法以旋涂的方式在石英玻璃上制備錫摻氧化鋅(ZnO∶Sn)透明導(dǎo)電薄膜,在不同的退火氣氛下對(duì)薄膜進(jìn)行熱處理,以此研究退火氣氛對(duì)薄膜的微觀結(jié)構(gòu)和光電性能的影響。通過(guò)X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、紫外-可見(jiàn)分光光度計(jì)和四探針測(cè)試儀等手段對(duì)薄膜樣品進(jìn)行分析表征,實(shí)驗(yàn)表明:不同氣氛條件下熱處理的ZnO∶Sn薄膜仍為六方纖鋅礦結(jié)構(gòu)并沿c軸擇優(yōu)生長(zhǎng),且在可見(jiàn)光范圍(400~900 nm)樣品的平均透過(guò)率均超過(guò)80%。其中,在氮?dú)鈿夥障峦嘶鹛幚淼谋∧る娮杪蕼p小至3.152×10~(-2)Ω·cm,在惰性氣體中熱處理有效提高了薄膜的光電特性。
[Abstract]:Tin doped zinc oxide (ZnO:Sn) transparent conductive thin films were prepared on quartz glass by sol-gel method. The films were annealed in different annealing atmosphere. The effect of annealing atmosphere on the microstructure and optoelectronic properties of the films was studied. The films were characterized by X-ray diffractometer, scanning electron microscope, UV-Vis spectrophotometer and four-probe tester. The experimental results show that the ZnO:Sn films annealed in different atmosphere are still hexagonal wurtzite structure and preferential growth along the c-axis, and the average transmittance of the samples in the visible light range (400 ~ 900 nm) is over 80%. The resistivity of the films annealed in nitrogen atmosphere is reduced to 3.152 脳 10 ~ (-2) 惟 cm, and the optical and electrical properties of the films are improved effectively by heat treatment in inert gas.
【作者單位】： 景德鎮(zhèn)陶瓷大學(xué)機(jī)械電子工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然基金項(xiàng)目(61464005,51562015) 江西省青年重點(diǎn)基金項(xiàng)目(20153BCB23004) 江西省科技支撐計(jì)劃資助項(xiàng)目(2010BGA01100) 江西省對(duì)外合作資助項(xiàng)目(20132BDH80025,20151BDH80031) 江西省自然基金資助項(xiàng)目(20143ACB21004,20151BAB202010,20151BAB212008) 江西省主要學(xué)科學(xué)術(shù)和技術(shù)帶頭人培養(yǎng)計(jì)劃項(xiàng)目(20123BCB22002) 江西省高等學(xué)�？萍悸涞赜�(jì)劃(KJLD12085,KJLD14075) 江西省教育廳科技資助項(xiàng)目(GJJ12494,GJJ13643,GJJ13625) 景德鎮(zhèn)市科技項(xiàng)目(2013-1-4,2014-2-22,2014-1-3)
【分類號(hào)】：TB383.2

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