本文選題：激光損傷 + 光學(xué)薄膜�。� 參考：《激光與紅外》2017年01期

【摘要】：納秒量級及以下脈寬激光致光學(xué)薄膜元件的損傷研究持續(xù)了幾十年,但納秒量級以上脈寬卻很少提及。因此,針對10 ns~1 ms量級區(qū)間不同脈寬激光輻照光學(xué)薄膜元件產(chǎn)生的熱損傷進(jìn)行了研究,計算了高反膜、增透膜和干涉濾光片三種典型光學(xué)薄膜元件的溫度場分布,并分析了其激光熱損傷特性。結(jié)果表明,對于長脈寬激光,熱擴(kuò)散深度大,薄膜損傷的電場效應(yīng)被削弱,熱傳導(dǎo)效應(yīng)在損傷中占據(jù)主導(dǎo)地位,損傷可至基底;短脈寬激光損傷對薄膜內(nèi)部的電場分布更為敏感,損傷發(fā)生在溫度最高值附近的膜層區(qū)域。進(jìn)而開展了10 ns與1 ms脈寬激光致光學(xué)薄膜元件的損傷實驗,損傷閾值及形貌特征與溫度場計算結(jié)果顯示的熱損傷特性相符。
[Abstract]:The damage of optical thin film elements caused by nanosecond laser pulses has been studied for several decades, but the pulse width above nanosecond level is seldom mentioned. Therefore, the thermal damage caused by laser irradiation on optical thin film elements with different pulse widths in 10 ns~1 Ms region is studied. The temperature field distributions of three typical optical thin film elements, high reflection film, antireflection film and interference filter, are calculated. The characteristics of laser thermal damage are analyzed. The results show that the electric field effect of thin film damage is weakened for long pulse width laser with large thermal diffusion depth, and the thermal conduction effect plays a dominant role in the damage, and the damage can be reached to the substrate. The short pulse width laser damage is more sensitive to the electric field distribution in the film, and the damage occurs in the film area near the highest temperature. Furthermore, the damage experiments of 10 ns and 1 Ms pulse width laser induced optical thin film elements have been carried out. The damage threshold and morphologic characteristics are in agreement with the thermal damage characteristics of the calculated results of the temperature field.
【作者單位】： 安徽工業(yè)大學(xué)數(shù)理科學(xué)與工程學(xué)院;南京理工大學(xué)理學(xué)院;
【基金】：江蘇省自然科學(xué)基金青年基金(No.BK20130751) 安徽工業(yè)大學(xué)青年科研基金(No.QZ201515)資助
【分類號】：TN249;O484.4

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前3條

1 馬健;趙揚(yáng);周鳳艷;孫繼華;劉帥;郭銳;宋江峰;陳建偉;;基于有限元的脈沖激光輻照材料溫度場研究[J];激光與紅外;2015年01期

2 戴罡;陳彥北;陸建;沈中華;倪曉武;;Analysis of laser induced thermal mechanical relationship of HfO_2/SiO_2 high reflective optical thin film at 1064 nm[J];Chinese Optics Letters;2009年07期

3 楊帆,沈軍,吳廣明,王珊,肖軼群,孫騏,張志華,付甜,王玨;溶膠-凝膠光學(xué)薄膜的激光損傷研究[J];強(qiáng)激光與粒子束;2003年05期

【共引文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 江修娥;王斌;劉劍;張宏超;;激光脈寬對光學(xué)薄膜元件熱損傷的影響[J];激光與紅外;2017年01期

2 劉品瀟;馬世榜;黃榮杰;;線狀燒蝕光源作用時瑞利表面波的指向性研究[J];激光與紅外;2016年09期

3 焦路光;楊在富;王嘉睿;;氣流環(huán)境中激光燒蝕鋁靶的數(shù)值模擬研究[J];激光與紅外;2016年02期

4 馬世榜;劉偉;屈重年;黃榮杰;;燒蝕機(jī)制下激光超聲聲場的模擬與實驗驗證[J];激光與紅外;2015年12期

5 劉品瀟;馬世榜;黃榮杰;;激光超聲橫波聲場指向性的研究[J];激光雜志;2015年09期

6 朱志武;石峰;程湘愛;沈超;萬穩(wěn);田野;;Variation of coating transmission under intense laser irradiation[J];Chinese Optics Letters;2015年05期

7 李鵬;杭凌俠;徐均琪;李林軍;;PECVD技術(shù)制備單層光學(xué)薄膜抗激光損傷特性研究[J];應(yīng)用光學(xué);2015年02期

8 趙松楠;呂海兵;王韜;嚴(yán)鴻維;張盡力;袁曉東;鄭萬國;;溶膠-凝膠雙層三波長增透膜制備[J];強(qiáng)激光與粒子束;2015年01期

9 蔡繼興;張燁;王，

本文編號：2079513