本文選題：反射差分顯微術(shù) + 各向異性�。� 參考：《紅外與毫米波學(xué)報(bào)》2017年06期

【摘要】：有機(jī)薄膜半導(dǎo)體器件在微電子和光電子領(lǐng)域具有重要的研究與應(yīng)用價(jià)值,其成膜質(zhì)量是影響器件性能的重要因素,如空間分布的均一性.采用反射差分顯微測(cè)量方法,對(duì)各向異性基底上生長(zhǎng)的并五苯薄膜的反射差分顯微圖像進(jìn)行分析,研究了該薄膜參數(shù)空間分布的非均一性,同時(shí)展示了反射差分顯微術(shù)在薄膜制備檢測(cè)及工藝研究的應(yīng)用價(jià)值.
[Abstract]:Organic thin film semiconductor devices have important research and application value in the field of microelectronics and optoelectronics. The film quality is an important factor affecting the performance of the devices, such as the uniformity of spatial distribution. The reflection differential micromeasurement method is used to analyze the reflection differential microimages of the five benzene film grown on the anisotropic substrate. The heterogeneity of the spatial distribution of the film parameters was studied, and the application value of reflection differential microscopy in film preparation, detection and process research was demonstrated.
【作者單位】： 天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;成都工業(yè)學(xué)院機(jī)械工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目(2016YFB1102203) 優(yōu)博論文作者專(zhuān)項(xiàng)資金資助項(xiàng)目(201140) 國(guó)家自然科學(xué)基金(61008028) 教育部留學(xué)回國(guó)人員科研啟動(dòng)基金資助項(xiàng)目~~
【分類(lèi)號(hào)】：O484

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 徐向東,付紹軍,張?jiān)饰?X射線(xiàn)顯微術(shù)[J];物理;1999年03期

2 高鴻奕,陳建文,陸培祥,徐至展,陳敏,蔣詩(shī)平,張新夷;軟X射線(xiàn)顯微術(shù)[J];自然雜志;2001年01期

3 蔣詩(shī)平,張新夷,闞婭,付紹軍,徐向東,單曉斌,陳建文,徐至展,陳敏;軟X射線(xiàn)顯微術(shù)活體材料成像的實(shí)驗(yàn)研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1997年07期

4 楊茜玲,唐立軍,肖體喬;X射線(xiàn)顯微術(shù)及其進(jìn)展[J];吉首大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1999年01期

5 高萬(wàn)榮;熒光共焦顯微術(shù)與多光子顯微術(shù)的差別[J];光電子·激光;2002年03期

6 徐紅萍,桑明煌,朱鵬飛,聶義友;光導(dǎo)波顯微術(shù)分辨率的提高[J];江西師范大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2004年02期

7 譚興興;劉海崗;郭智;吳衍青;許子健;王勇;邰仁忠;;基于上海光源掃描透射X射線(xiàn)顯微術(shù)的相干衍射成像模擬[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2011年04期

8 劉毅楠,王占山,李哲,曹健林,林宜平;軟 X 射線(xiàn)接觸式顯微術(shù)抗蝕膜顯影條件分析[J];光學(xué)精密工程;1997年05期

9 王佳,劉秀梅,李達(dá)成;近場(chǎng)掃描干涉無(wú)孔徑顯微術(shù)[J];光學(xué)技術(shù);1997年06期

10 張延惠;軟X射線(xiàn)顯微術(shù)濕樣品成像的探討[J];山東師大學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1997年02期

相關(guān)會(huì)議論文 前4條

1 葉莉華;陳月菊;朱菁;崔一平;;一種染料摻雜有機(jī)薄膜的制備及其光致發(fā)光特性[A];江蘇、山東、河南、江西、黑龍江五省光學(xué)（激光）聯(lián)合學(xué)術(shù)'05年會(huì)論文集[C];2005年

2 時(shí)東霞;宋延林;高鴻鈞;張昊旭;解思深;龐世瑾;;單體有機(jī)薄膜的超高密度信息存儲(chǔ)研究[A];西部大開(kāi)發(fā) 科教先行與可持續(xù)發(fā)展——中國(guó)科協(xié)2000年學(xué)術(shù)年會(huì)文集[C];2000年

3 肖敬忠;殷紹唐;田玉蓮;朱佩平;張新夷;;0.92PZN-0.08PT晶體的缺陷與疇結(jié)構(gòu)研究[A];第五屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集Ⅲ[C];2004年

4 周紅;楊文明;沈?qū)W浩;楊衛(wèi)群;趙鐵松;;偏振光實(shí)驗(yàn)的定量測(cè)量[A];2005年全國(guó)高校非物理類(lèi)專(zhuān)業(yè)物理教育學(xué)術(shù)研討會(huì)論文集[C];2005年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前1條

1 胡泊;磁電特性的定量近場(chǎng)微波顯微術(shù)[D];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué);2006年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前3條

1 胡琛;有機(jī)薄膜生長(zhǎng)與OLED系統(tǒng)蒸發(fā)源結(jié)構(gòu)的初步研究[D];電子科技大學(xué);2011年

2 馬曉琳;偏振光的描繪及形態(tài)分析[D];山西師范大學(xué);2015年

3 鄭驪昂;大氣偏振光學(xué)模擬實(shí)驗(yàn)裝置設(shè)計(jì)與介質(zhì)特性研究[D];合肥工業(yè)大學(xué);2016年

，

本文編號(hào)：2060884