本文選題：ta-C + 薄膜�。� 參考：《表面技術》2016年02期

【摘要】：目的聯(lián)合使用光譜型橢偏儀(SE)和分光光度計,精確測定超薄四面體非晶碳薄膜(ta-C)的光學常數(shù)。方法由于該薄膜的厚度對折射率、消光系數(shù)有很大的影響,僅采用橢偏參數(shù)擬合,難以準確得到該薄膜的光學常數(shù),橢偏法測定的未知參數(shù)數(shù)量大于方程數(shù),橢偏方程無唯一解。因此,加入透過率與橢偏參數(shù)同時進行擬合(以下簡稱SE+T法),以簡單、快速、準確地得到該薄膜的光學常數(shù)。結果薄膜具有典型的非晶碳膜特征,SE和SE+T兩種擬合方法得到的光學常數(shù)具有明顯的差異,消光系數(shù)k在可見以及紅外區(qū)最大差值可達0.020,紫外區(qū)最大的偏差約為0.005;折射率n在500 nm波長以上最大差值為0.04,在紫外光區(qū)和可見光區(qū)兩種方法得到的n趨于一致。聯(lián)用時的擬合結果具有更好的唯一性,而且擬合得到的光學常數(shù)變得平滑。結論橢偏與分光光度計聯(lián)用適合精確測定測量范圍內的超薄四面體非晶薄膜的光學常數(shù)。
[Abstract]:Aim to determine accurately the optical constants of ultrathin tetrahedral amorphous carbon thin films (Ta-C) using spectroscopic ellipsometry (SE) and spectrophotometer. Methods because the thickness of the film has a great influence on the refractive index and extinction coefficient, it is difficult to get the optical constant of the film by using ellipsometric parameters fitting, and the number of unknown parameters measured by ellipsometry is larger than the number of equations. Ellipsometry has no unique solution. Therefore, the optical constants of the thin films can be obtained by adding the transmittance and ellipsometry parameters at the same time (hereinafter referred to as SE T method) in order to obtain the optical constants of the thin films easily, quickly and accurately. Results the optical constants obtained by two fitting methods, SE and SE T, have obvious differences. The maximum difference of extinction coefficient k in visible and infrared region is 0.020, the maximum deviation in ultraviolet region is about 0.005, and the maximum difference value of refractive index n above 500 nm wavelength is 0.04. The fitting results are more unique and the optical constants obtained are smooth. Conclusion the combination of ellipsometry and spectrophotometer is suitable for the accurate measurement of optical constants of ultrathin tetrahedral amorphous films.
【作者單位】： 酒泉職業(yè)技術學院甘肅省太陽能發(fā)電系統(tǒng)工程重點實驗室;酒泉新能源研究院;中國科學院海洋新材料與應用技術重點實驗室;
【基金】：甘肅省科技創(chuàng)新平臺專項(144JTCF256) 甘肅省自然科學基金項目(1506RJYF319) 酒泉職業(yè)技術學院重點項目(xyky[2015]z-2)~~
【分類號】：TB383.2

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 李江;唐敬友;裴旺;魏賢華;黃峰;;橢偏精確測定透明襯底上吸收薄膜的厚度及光學常數(shù)[J];物理學報;2015年11期

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 薛建華,韓丹,楊秀文,魏江南;薄金屬膜光學常數(shù)的橢偏法測定[J];河北科技大學學報;2003年02期

2 葉秀貞;;橢園偏振光法測鋼表面防腐膜的光學常數(shù)[J];陜西化工;1980年01期

3 干福熹,林鳳英;外場作用下玻璃的光學常數(shù)的變化[J];光學學報;1981年01期

4 吳維(山文),I.Aydin,H.E.Bühler;硫化物相光學常數(shù)的測定[J];金屬學報;1983年02期

5 左曉鐘;玻璃的應力光學常數(shù)測定及殘余應力分析[J];玻璃;1985年02期

6 馮異;趙軍武;童慧敏;高芬;;高度有序多孔陽極氧化鋁薄膜光學常數(shù)的確定[J];功能材料與器件學報;2007年05期

7 張平;李晨;陳燾;王多書;;基于透射光譜確定硅碳氧薄膜的光學常數(shù)[J];上海有色金屬;2013年02期

8 高振昕;燒礬土中的六鋁酸鈣[J];硅酸鹽學報;1982年02期

9 張國棟;;大氣污染與平流層氣溶膠[J];四川環(huán)境;1993年02期

10 浦天舒，童志深，吳美珍，，金若鵬，周馥;苯胺等離子體聚合膜的光學常數(shù)[J];高分子材料科學與工程;1995年01期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 高尚;連潔;宋平;李萍;馬錚;王曉;吳仕梁;;分子束外延生長超薄鋁膜光學常數(shù)的研究[A];中國光學學會2010年光學大會論文集[C];2010年

2 林崴;鄭玉祥;蔡清元;張冬旭;張榮君;陳良堯;;硅納米晶光學常數(shù)對溫度的響應研究[A];中國光學學會2011年學術大會摘要集[C];2011年

3 徐均琪;蘇俊宏;;薄膜光學常數(shù)的橢偏測量方法[A];第十三屆全國光學測試學術討論會論文（摘要集）[C];2010年

4 周毅;孫麗麗;汪愛英;;多樣品分析法測定吸收薄膜的厚度與光學常數(shù)的研究[A];TFC’09全國薄膜技術學術研討會論文摘要集[C];2009年

5 王建;李燕;王成偉;;多孔薄膜及其復合結構的光學常數(shù)的確定[A];TFC'07全國薄膜技術學術研討會論文摘要集[C];2007年

6 林斯勤;賴新春;呂學超;張永彬;張厚亮;黃文莉;;氧化膜光學常數(shù)的橢圓偏振測試研究[A];TFC'07全國薄膜技術學術研討會論文摘要集[C];2007年

7 張艷茹;杭凌俠;惠迎雪;潘永強;;含氫類金剛石薄膜的制備及其光學常數(shù)研究[A];中國真空學會2012學術年會論文摘要集[C];2012年

8 周楊;梁海鋒;嚴一心;蔡長龍;;橢偏法測量AIN薄膜的光學常數(shù)[A];第十一屆全國光學測試學術討論會論文（摘要集）[C];2006年

9 肖軼群;沈軍;周斌;徐超;薛輝;;橢偏光度法研究溶膠—凝膠SiO_2薄膜的光學性能[A];第八屆全國核靶技術學術交流會論文摘要集[C];2004年

10 張素英;李斌;謝平;劉定權;;Pb_(1-x)Ge_xTe薄膜性能與其基板的關系[A];第十七屆十三省（市）光學學術年會暨“五省一市光學聯(lián)合年會”論文集[C];2008年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 張文杰;基于橢偏法的典型工程材料高溫光學常數(shù)實驗研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2015年

2 陳紅;氫化納米硅薄膜的光學常數(shù)和室溫可見發(fā)光研究[D];上海交通大學;2007年

3 王希影;氣溶膠粒子光學常數(shù)的實驗研究及輻射傳輸?shù)臄?shù)值模擬[D];哈爾濱工業(yè)大學;2012年

4 李佳玉;相變過程中的高溫粒子輻射特性[D];哈爾濱工業(yè)大學;2009年

5 齊宏;彌散顆粒輻射反問題的理論與實驗研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2008年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 吳楠;碳纖維復合材料的結構對輻射特性的影響[D];哈爾濱工業(yè)大學;2015年

2 李江;橢偏光譜學在透明襯底上吸收薄膜厚度及光學常數(shù)表征中的應用研究[D];西南科技大學;2015年

3 喬明霞;薄膜光學常數(shù)和厚度的透射光譜法測定研究[D];四川大學;2006年

4 蔣禮林;金屬陶瓷薄膜光學常數(shù)的尺度效應[D];哈爾濱工業(yè)大學;2006年

5 殷金英;粒子光學常數(shù)的尺寸效應[D];哈爾濱工業(yè)大學;2006年

6 趙國艷;氣溶膠顆粒材料光學常數(shù)的反演方法研究[D];南京航空航天大學;2009年

7 趙利榮;多孔陽極氧化鋁薄膜的光學常數(shù)和潤濕特性的研究[D];西北師范大學;2010年

8 馬崢;橢偏技術在6H-SiC晶體光學常數(shù)的測量與分析[D];山東大學;2012年

9 章睿榮;通過全光譜擬合法確定薄膜光學常數(shù)和厚度[D];浙江大學;2007年

10 于海濤;表面光極化散射特性的測量和�；夹g研究[D];西安電子科技大學;2005年

本文編號：2035833