本文選題：ta-C + 薄膜��； 參考：《表面技術(shù)》2016年02期

【摘要】：目的聯(lián)合使用光譜型橢偏儀(SE)和分光光度計(jì),精確測(cè)定超薄四面體非晶碳薄膜(ta-C)的光學(xué)常數(shù)。方法由于該薄膜的厚度對(duì)折射率、消光系數(shù)有很大的影響,僅采用橢偏參數(shù)擬合,難以準(zhǔn)確得到該薄膜的光學(xué)常數(shù),橢偏法測(cè)定的未知參數(shù)數(shù)量大于方程數(shù),橢偏方程無(wú)唯一解。因此,加入透過(guò)率與橢偏參數(shù)同時(shí)進(jìn)行擬合(以下簡(jiǎn)稱SE+T法),以簡(jiǎn)單、快速、準(zhǔn)確地得到該薄膜的光學(xué)常數(shù)。結(jié)果薄膜具有典型的非晶碳膜特征,SE和SE+T兩種擬合方法得到的光學(xué)常數(shù)具有明顯的差異,消光系數(shù)k在可見(jiàn)以及紅外區(qū)最大差值可達(dá)0.020,紫外區(qū)最大的偏差約為0.005;折射率n在500 nm波長(zhǎng)以上最大差值為0.04,在紫外光區(qū)和可見(jiàn)光區(qū)兩種方法得到的n趨于一致。聯(lián)用時(shí)的擬合結(jié)果具有更好的唯一性,而且擬合得到的光學(xué)常數(shù)變得平滑。結(jié)論橢偏與分光光度計(jì)聯(lián)用適合精確測(cè)定測(cè)量范圍內(nèi)的超薄四面體非晶薄膜的光學(xué)常數(shù)。
[Abstract]:Aim to determine accurately the optical constants of ultrathin tetrahedral amorphous carbon thin films (Ta-C) using spectroscopic ellipsometry (SE) and spectrophotometer. Methods because the thickness of the film has a great influence on the refractive index and extinction coefficient, it is difficult to get the optical constant of the film by using ellipsometric parameters fitting, and the number of unknown parameters measured by ellipsometry is larger than the number of equations. Ellipsometry has no unique solution. Therefore, the optical constants of the thin films can be obtained by adding the transmittance and ellipsometry parameters at the same time (hereinafter referred to as SE T method) in order to obtain the optical constants of the thin films easily, quickly and accurately. Results the optical constants obtained by two fitting methods, SE and SE T, have obvious differences. The maximum difference of extinction coefficient k in visible and infrared region is 0.020, the maximum deviation in ultraviolet region is about 0.005, and the maximum difference value of refractive index n above 500 nm wavelength is 0.04. The fitting results are more unique and the optical constants obtained are smooth. Conclusion the combination of ellipsometry and spectrophotometer is suitable for the accurate measurement of optical constants of ultrathin tetrahedral amorphous films.
【作者單位】： 酒泉職業(yè)技術(shù)學(xué)院甘肅省太陽(yáng)能發(fā)電系統(tǒng)工程重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;酒泉新能源研究院;中國(guó)科學(xué)院海洋新材料與應(yīng)用技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：甘肅省科技創(chuàng)新平臺(tái)專項(xiàng)(144JTCF256) 甘肅省自然科學(xué)基金項(xiàng)目(1506RJYF319) 酒泉職業(yè)技術(shù)學(xué)院重點(diǎn)項(xiàng)目(xyky[2015]z-2)~~
【分類(lèi)號(hào)】：TB383.2

【共引文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2035833