本文選題：微機(jī)電 + 奧米亞棕蠅�。� 參考：《傳感技術(shù)學(xué)報(bào)》2017年09期

【摘要】：受奧米亞棕蠅聽覺系統(tǒng)特有結(jié)構(gòu)的啟發(fā),提出一種能夠測(cè)向的微機(jī)電(MEMS)矢量水聽器設(shè)計(jì)思路,并進(jìn)行了數(shù)值仿真研究。這種思路是利用MEMS表面犧牲層工藝設(shè)計(jì)一種微型差分電容檢測(cè)水聽器,可實(shí)現(xiàn)低頻聲源測(cè)向定位。利用COMSOL多物理場(chǎng)耦合仿真軟件對(duì)水聽器的模態(tài)和耦合放大效果進(jìn)行了模擬仿真,結(jié)果顯示在0°~180°范圍,在諧振頻率333Hz處,水聽器差分電容敏感單元能夠?qū)β曅盘?hào)幅值差和相位差實(shí)現(xiàn)有效放大,顯示出巨大的測(cè)向潛力。
[Abstract]:Inspired by the unique structure of the Ormia brown fly auditory system, this paper presents a design idea of the MEMS vector hydrophone which can detect the direction, and carries on the numerical simulation research. This idea is to design a micro differential capacitance detecting hydrophone using MEMS surface sacrificial layer process, which can realize the direction finding of low frequency sound source. The mode and coupling amplification of hydrophone are simulated by COMSOL multi-physical field coupling simulation software. The results show that the resonant frequency is 333Hz in the range of 0 擄~ 180 擄. The hydrophone differential capacitance sensing unit can effectively amplify the amplitude difference and phase difference of acoustic signal, which shows great potential for direction finding.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院噪聲與振動(dòng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(11404368)
【分類號(hào)】：TB565.1

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本文編號(hào)：2033266