本文選題：薄膜 + 薄膜表征��； 參考：《中國(guó)激光》2017年12期

【摘要】：掠入射X射線反射(GIXR)由于檢測(cè)精度高且對(duì)檢測(cè)薄膜的無(wú)損傷而被廣泛用于薄膜檢測(cè)和高精度表征。GIXR是一種基于數(shù)值擬合的間接檢測(cè)方法,因此在薄膜微觀結(jié)構(gòu)的求解,特別是復(fù)雜多層膜膜系的求解過(guò)程中對(duì)數(shù)值優(yōu)化算法的要求較高。為此提出了基于量子衍生遺傳算法(QIGA)的薄膜GIXR擬合求解方法,并基于QIGA對(duì)Si單層膜和等周期Mo/Si多層膜的GIXR分別進(jìn)行擬合求解。結(jié)果表明,該方法具有求解速度快、擬合精度高的明顯優(yōu)勢(shì),說(shuō)明QIGA在光學(xué)薄膜表征方面有潛在的應(yīng)用價(jià)值。
[Abstract]:Grazing incident X-ray reflectance (GIXR) is widely used in thin film detection and high precision characterization because of its high detection accuracy and non-damage. GIXR is an indirect detection method based on numerical fitting, so it can be used to solve the microstructure of thin film. Especially in the process of solving the complex multilayer film system, the numerical optimization algorithm is required. In this paper, a Quantum Derivative genetic algorithm (QIGA) is proposed to solve the GIXR fitting method of thin films. Based on QIGA, the GIXR of Si monolayer and equiperiodic Mo / Si multilayer films are respectively fitted and solved. The results show that this method has the advantages of fast solution speed and high fitting accuracy, which indicates that QIGA has potential application value in the characterization of optical thin films.
【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)理學(xué)院;中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金青年科學(xué)基金(61405189) 吉林省科技發(fā)展計(jì)劃(20150101019JC,20170312024ZG)
【分類號(hào)】：O484

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本文編號(hào)：2014420