本文選題：解耦合準(zhǔn)則 + 光學(xué)顯微測(cè)量��； 參考：《紅外與激光工程》2017年03期

【摘要】：光學(xué)顯微三維測(cè)量耦合效應(yīng)是指溝槽或臺(tái)階樣品高度測(cè)量準(zhǔn)確性受橫向周期影響產(chǎn)生原理誤差的現(xiàn)象。采用卷積不相關(guān)原則和有限能量損失原則,分別建立了薄樣品和深溝槽樣品光學(xué)顯微三維測(cè)量的解耦合模型,揭示了被測(cè)樣品特征參數(shù)與光學(xué)儀器表征能力之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系。與現(xiàn)有W/3準(zhǔn)則相比,光學(xué)顯微三維測(cè)量解耦合準(zhǔn)則能夠客觀反映光學(xué)儀器表征能力受樣品結(jié)構(gòu)差異變化的影響,指示高度測(cè)量解耦合評(píng)定的示值區(qū)域,預(yù)見(jiàn)高度測(cè)量原理誤差產(chǎn)生,為溝槽或臺(tái)階樣品三維結(jié)構(gòu)表征提供了一種新的計(jì)量評(píng)定準(zhǔn)則。
[Abstract]:The coupling effect of three dimensional optical microscopy is a phenomenon that the accuracy of height measurement of grooves or step samples is affected by the transverse period.Using convolution discorrelation principle and finite energy loss principle, a decoupling model of optical microscopic 3D measurement for thin and deep grooved samples is established, and the correlation between the characteristic parameters and the characterization ability of optical instruments is revealed.Compared with the existing W / 3 criterion, the optical microscope three-dimensional measurement decoupling criterion can objectively reflect the influence of the variation of the sample structure on the characterization ability of the optical instrument, indicating the indication value region of the height measurement decoupling evaluation.The principle error of predicting height measurement provides a new metrological evaluation criterion for the three-dimensional structure characterization of grooves or step samples.
【作者單位】： 哈爾濱工業(yè)大學(xué)超精密光電儀器工程研究所;
【基金】：國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)項(xiàng)目(2011YQ040087) 國(guó)防工業(yè)基礎(chǔ)研究項(xiàng)目(2013xe0873) 國(guó)家自然科學(xué)基金(51275121)
【分類(lèi)號(hào)】：TB96

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本文編號(hào)：1744812