本文選題：漏率　切入點(diǎn)：校準(zhǔn)　出處：《真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報》2017年12期

【摘要】：真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔作為標(biāo)定檢漏儀或被測量漏率的參考標(biāo)準(zhǔn),在核工業(yè)、航天航空等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。本文利用氦質(zhì)譜檢漏儀和定容法對標(biāo)準(zhǔn)漏孔(銘牌漏率:2.3×10-6Pa·m3/s,He,23℃)進(jìn)行校準(zhǔn),以為快速地定量研究聚變材料中氘(D2)或氦(He)行為提供有用的參考。研究結(jié)果表明,漏孔漏率隨入口端氣體壓強(qiáng)的增大而增大,并與漏孔兩端氣體介質(zhì)壓強(qiáng)的平方差呈線性遞增關(guān)系。同一入口壓強(qiáng)下,D2的漏率高于He,且漏率之間的差異隨壓強(qiáng)增加而變大。同一條件下,定容法和氦質(zhì)譜檢漏儀測得漏孔中示漏氣體He的漏率值基本相等,但示漏氣體為D2時,氦質(zhì)譜檢漏儀測得的漏率值高于定容法。研究還給出了氦質(zhì)譜檢漏儀測量示漏氣體D2時漏孔漏率的修正關(guān)系式。
[Abstract]:As a reference standard for calibrating leak detector or measuring leakage rate, the vacuum standard leak hole has been widely used in nuclear industry, aerospace and other fields.The calibration of standard leak (nameplate leakage rate: 2.3 脳 10-6Pa m ~ (3 / s)) is carried out by means of helium mass spectrometer and constant volume method, which provides a useful reference for the rapid and quantitative study of deuterium D _ 2 or helium he in fusion materials.The results show that the leakage rate increases with the increase of gas pressure at the inlet end and increases linearly with the square difference between the gas pressure at both ends of the hole.At the same inlet pressure, the leakage rate of D _ 2 is higher than that of He. and the difference between leakage rates increases with the increase of pressure.Under the same condition, the leakage rate of helium mass spectrometer is equal to that of helium mass spectrometer, but when the leakage gas is D2, the leakage rate measured by helium mass spectrometer is higher than that measured by constant volume method.A modified formula for leak rate of leak gas D2 by helium mass spectrometer is presented.
【作者單位】： 表面物理與化學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗室;四川大學(xué)原子與分子物理研究所;中國工程物理研究院;
【基金】：國家磁約束聚變計劃專項(No.2015GB109002) 中國工程物理研究院科學(xué)技術(shù)發(fā)展基金(No.2014B0301048)
【分類號】：TB774

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本文編號：1728055