本文選題：ITO導(dǎo)電薄膜　切入點(diǎn)：灰度差分統(tǒng)計(jì)　出處：《計(jì)算機(jī)應(yīng)用》2017年S1期

【摘要】：針對(duì)ITO導(dǎo)電薄膜缺陷人工分類效率較低的問(wèn)題,提出了一種基于灰度差分統(tǒng)計(jì)法、灰度共生矩陣法和矩描述法的缺陷特征分析方法。首先,通過(guò)灰度差分統(tǒng)計(jì)對(duì)比得出各缺陷的熵值,利用熵值進(jìn)行一次分類;其次,通過(guò)灰度共生矩陣,提取了二階矩、對(duì)比度和相關(guān)性的數(shù)值,通過(guò)這三個(gè)數(shù)值分別設(shè)置閾值并對(duì)圖表進(jìn)行分析完成對(duì)5種缺陷的分類;最后,根據(jù)矩描述的特性并通過(guò)實(shí)驗(yàn)對(duì)矩方法的可行性進(jìn)行了分析。實(shí)驗(yàn)中,取熵值的閾值為0.5,二階矩的閾值為230,對(duì)比度的閾值為140,相關(guān)性的閾值為22,通過(guò)這四個(gè)參數(shù)的閾值可以達(dá)到將5種缺陷分類的效果。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,基于灰度差分統(tǒng)計(jì)法和灰度共生矩陣法的分類方法可以更有效地完成缺陷分類。
[Abstract]:Aiming at the low efficiency of artificial classification of defects in ITO conductive films, a defect feature analysis method based on gray difference statistics method, gray level co-occurrence matrix method and moment description method is proposed. The entropy value of each defect is obtained by statistical comparison of gray level difference, and the entropy value is used to classify the defect. Secondly, the second order moment, contrast and correlation are extracted by gray level co-occurrence matrix. According to the characteristics of moment description and the feasibility of the moment method, the feasibility of the moment method is analyzed. The threshold of entropy value is 0.5, the threshold of second moment is 230, the contrast threshold is 140, the threshold of correlation is 22. The threshold of these four parameters can achieve the effect of classifying five kinds of defects. The classification method based on gray difference statistics method and gray level co-occurrence matrix method can accomplish defect classification more effectively.
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)光電技術(shù)研究院;
【基金】：國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)(2013YQ220749)
【分類號(hào)】：TB383.2;TP391.41

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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