發(fā)布時(shí)間：2018-03-04 01:22

  本文選題：分子力　切入點(diǎn)：多場(chǎng)耦合　出處：《振動(dòng)與沖擊》2017年23期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：將微諧振壓力傳感器諧振薄膜簡化為微薄膜多場(chǎng)耦合系統(tǒng),給出考慮分子力作用時(shí)微薄膜多場(chǎng)耦合動(dòng)力學(xué)方程,利用Linz Ted-Poincaré方法求得其非線性振動(dòng)固有頻率與振型方程,研究了分子力對(duì)薄膜非線性固有頻率及自由振動(dòng)的影響規(guī)律,利用微加工技術(shù)制作出諧振薄膜,利用靜電激勵(lì)-電容檢測(cè)方法對(duì)薄膜非線性固有頻率進(jìn)行了測(cè)試。結(jié)果表明:當(dāng)薄膜尺寸較小時(shí),分子力對(duì)于微薄膜多場(chǎng)耦合非線性振動(dòng)的固有頻率具有較大影響。研究結(jié)果對(duì)于壓力傳感器進(jìn)一步微型化具有指導(dǎo)意義。
[Abstract]:The resonant film of micro resonant pressure sensor is simplified as a multi field coupling system of micro film, and the dynamic equation of multi field coupling of micro film considering molecular force is given. The natural frequency and mode equation of nonlinear vibration are obtained by Linz Ted-Poincar 茅 method. The influence of molecular force on the nonlinear natural frequency and free vibration of the thin film is studied. The nonlinear natural frequency of the thin film is measured by electrostatic excitation-capacitance measurement method. The results show that when the film size is small, The molecular force has great influence on the natural frequency of multi-field coupled nonlinear vibration of microfilm, and the research results have a guiding significance for the further miniaturization of the pressure sensor.
【作者單位】： 燕山大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【基金】：河北省重點(diǎn)基礎(chǔ)研究項(xiàng)目(13961701D) 河北省博士研究生創(chuàng)新資助項(xiàng)目(CXZZBS2017043)
【分類號(hào)】：O484.2;TP212

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本文編號(hào)：1563540