本文關(guān)鍵詞： Mo薄膜 磁控濺射 銅銦鎵硒 太陽能電池　出處：《真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)》2017年03期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：分別用磁控濺射法和共蒸法沉積了Mo和CIGS薄膜�？疾炝藲鈮汉虲IGS高溫沉積環(huán)境對Mo薄膜的影響,研究了Mo基底對CIGS結(jié)構(gòu)和形貌的影響,給出了不同Mo基底上制備的電池效率。結(jié)果顯示,Mo薄膜具有較強(qiáng)的(110)晶面擇優(yōu)取向,低氣壓沉積的薄膜結(jié)構(gòu)致密,而高氣壓沉積的薄膜疏松多孔隙。經(jīng)CIGS高溫工藝后,Mo薄膜晶粒融合,形貌特征消失,其中0.1 Pa沉積的Mo薄膜晶粒融合后表面致密無孔隙,方阻下降,而高氣壓薄膜孔隙變大,方阻上升。高氣壓沉積的Mo薄膜中Se擴(kuò)散現(xiàn)象明顯,而低氣壓薄膜結(jié)構(gòu)致密,有利于遏制Se的擴(kuò)散。Mo薄膜對CIGS的生長有顯著的影響,致密平整的Mo薄膜有利于CIGS晶粒長大形成柱狀晶結(jié)構(gòu),并具有(112)晶面擇優(yōu)取向,而疏松的Mo膜上沉積的CIGS呈等軸晶結(jié)構(gòu),具有(220/204)晶面擇優(yōu)取向。電池結(jié)果顯示,0.1 Pa沉積的Mo膜上制備的電池效率達(dá)到13.42%,氣壓增大時,填充因子顯著降低,轉(zhuǎn)換效率隨之下降。
[Abstract]:Mo and CIGS films were deposited by magnetron sputtering and co-evaporation, respectively. The effects of pressure and CIGS high temperature deposition environment on Mo films were investigated, and the effects of Mo substrates on the structure and morphology of CIGS were investigated. The cell efficiency on different Mo substrates is given. The results show that Mo thin films have a strong preferred orientation on the crystal plane, and the thin films deposited at low pressure have dense structure. After high pressure deposition, the grain size of Mo film fuses, and the morphology of Mo film disappears. The surface of Mo thin film deposited at 0.1 Pa has no porosity, the square resistance decreases, but the pore size of high pressure film becomes larger. The phenomenon of se diffusion in Mo films deposited at high pressure is obvious, while the structure of low pressure films is dense, which is beneficial to restrain the diffusion of se. Mo films have a significant effect on the growth of CIGS. Compact and flat Mo thin films are favorable to the formation of columnar crystal structure of CIGS grains and have preferred orientation of crystal plane, while the CIGS deposited on loose Mo films exhibits equiaxed crystal structure. The results show that the cell efficiency on Mo film deposited at 0.1 Pa reaches 13.42. When the pressure increases, the filling factor decreases significantly and the conversion efficiency decreases.
【作者單位】： 北京低碳清潔能源研究所;北京市納米結(jié)構(gòu)薄膜太陽能電池工程技術(shù)研究中心;
【分類號】：TB383.2;TM914.4

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