本文關(guān)鍵詞： 渦輪分子泵 分子密度分布 蒙特卡洛法 入口直接管 自由分子流　出處：《真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)》2017年08期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：在入口管路束流效應(yīng)和渦輪端蓋反射作用的雙重因素影響下,以純分子流態(tài)經(jīng)泵前入口管道流向渦輪分子泵環(huán)形一級(jí)動(dòng)葉列抽氣面處的氣體分子,其入射密度是不均勻分布的。本文基于自由分子流態(tài)基本假設(shè),建立入口直圓管道計(jì)算模型,采用試驗(yàn)粒子蒙特卡洛方法,利用Molflow+軟件,模擬被抽氣體分子經(jīng)泵入口到渦輪葉列抽氣面的飛行過(guò)程及行為;數(shù)值計(jì)算得到氣體分子到達(dá)渦輪轉(zhuǎn)子一級(jí)動(dòng)葉列入射平面的密度分布和氣體通過(guò)入口管道的傳輸幾率,并分別經(jīng)回歸分析擬合給出二者的計(jì)算公式,可為渦輪分子泵抽氣性能的后續(xù)研究提供更精確的理論數(shù)據(jù);算例證明,以此分布計(jì)算分子泵一級(jí)動(dòng)葉列的正向傳輸幾率,比采用均勻分布假設(shè)的積分中值法的計(jì)算結(jié)果偏小。
[Abstract]:Based on the basic assumption of free molecular flow state and using Molflow + software to simulate the flight process and behavior of pumped gas molecules through the pump inlet to the turbine blade row suction surface , the numerical calculation results in more accurate theoretical data for the follow - up study of pumping performance of turbo - molecular pump .

【作者單位】： 東北大學(xué)機(jī)械工程與自動(dòng)化學(xué)院;
【基金】：NSFC-廣東聯(lián)合基金(第二期)超級(jí)計(jì)算科學(xué)應(yīng)用研究專項(xiàng)資助 國(guó)家超級(jí)計(jì)算廣州中心
【分類號(hào)】：TB752.27

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本文編號(hào)：1519606