MEMS矢量水聽器靈敏度自動測試系統(tǒng)設(shè)計
本文關(guān)鍵詞: 矢量水聽器 微機電系統(tǒng) 靈敏度 測試裝置 自動化 出處:《強激光與粒子束》2017年04期 論文類型:期刊論文
【摘要】:針對微機電系統(tǒng)(MEMS)矢量水聽器聲壓靈敏度測試中出現(xiàn)的測試步驟單一、測試任務(wù)繁重且耗時多,同時手動測量存在不確定的操作誤差等問題,在分析矢量水聽器靈敏度測試原理和測試過程的基礎(chǔ)上,采用AD9850,AD8599,PGA205、單片機MK60DN512ZVLQ110等芯片,設(shè)計了集成信號激勵源、微弱信號檢測、調(diào)理以及信號采樣和傳輸?shù)饶K的矢量水聽器靈敏度自動測試裝置。該裝置將測試現(xiàn)場的儀器"縮小",多模塊功能集成,通過與PC上位機連接控制,快速、實時地完成矢量水聽器靈敏度測試標(biāo)定,在節(jié)約測試時間的同時,也能快速地完成對水聽器的優(yōu)化改進(jìn)的驗證;此裝置體積小、輕便,測試連線簡單,方便外場測試,促進(jìn)MEMS水聽器工程化應(yīng)用。
[Abstract]:In order to solve the problems of single test step, heavy task and time consuming in testing the acoustic pressure sensitivity of MEMS vector hydrophone, there are many problems in manual measurement, such as uncertain operation error, etc. On the basis of analyzing the principle and process of the sensitivity test of vector hydrophone, the integrated signal excitation source and weak signal detection are designed by using AD9850 / AD8599PGA205, single chip microcomputer MK60DN512ZVLQ110 and so on. Automatic testing device for vector hydrophone sensitivity of conditioning and signal sampling and transmission modules. The device "shrinks" the instrument in the field of test, integrates multi-module functions, and controls the sensitivity of vector hydrophone by connecting with PC. The sensitivity test calibration of vector hydrophone can be completed in real time, while saving the test time, it can also quickly complete the verification of the optimization and improvement of the hydrophone, the device is small in size, light in size, simple in testing connection, convenient for field testing, Promote the engineering application of MEMS hydrophone.
【作者單位】: 中北大學(xué)儀器科學(xué)與動態(tài)測試教育部重點實驗室;蘇州中盛納米科技有限公司;
【基金】:國家自然科學(xué)基金項目(61127008) 國家重點研發(fā)計劃項目(2016YFC0101900) 山西省應(yīng)用基礎(chǔ)研究項目(201601D011035)
【分類號】:TB565.1
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,本文編號:1508255
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