發(fā)布時(shí)間：2017-12-29 16:05

  本文關(guān)鍵詞：不同制備工藝的Fe-Ga薄膜的微結(jié)構(gòu)和磁性能研究　出處：《浙江理工大學(xué)》2015年碩士論文　論文類(lèi)型：學(xué)位論文

  更多相關(guān)文章： 磁控濺射 Fe-Ga薄膜 工藝參數(shù) 微結(jié)構(gòu) 磁性能

【摘要】：本文通過(guò)磁控濺射方法，以Si(100)為襯底，F(xiàn)e83Ga17合金為靶材，制備了不同濺射工藝的Fe-Ga薄膜樣品，利用XRD、SEM、EDS和PPMS研究了Fe-Ga薄膜的晶相結(jié)構(gòu)、成分、微觀(guān)形貌和磁性能，系統(tǒng)探究了基底溫度、濺射功率、濺射時(shí)間等工藝參數(shù)對(duì)Fe-Ga薄膜的微結(jié)構(gòu)和磁性能的影響和規(guī)律。 XRD結(jié)果表明所有Fe-Ga薄膜樣品均存在bcc（體心立方）結(jié)構(gòu)，基本相結(jié)構(gòu)為無(wú)序的A2相。隨著濺射功率增大，薄膜的晶粒尺寸有所增大，過(guò)大或過(guò)小的濺射功率都不利于薄膜的晶化。隨著基底溫度的升高，F(xiàn)e-Ga薄膜的晶粒尺寸明顯變大，薄膜的結(jié)晶性變好。一定范圍內(nèi)，增加濺射時(shí)間有利于Fe-Ga薄膜的晶化，晶粒尺寸有所增大并趨于不變。 EDS結(jié)果表明所有Fe-Ga薄膜的成分均接近于靶材的Fe83Ga17。SEM結(jié)果表明隨著濺射功率增大，，F(xiàn)e-Ga薄膜的顆粒逐漸變大，但是這一規(guī)律在濺射時(shí)基底溫度較高時(shí)變得不明顯。從室溫到250℃范圍內(nèi)，隨著基底溫度升高，薄膜的顆粒尺寸逐步、明顯增大，薄膜呈柱狀生長(zhǎng)。當(dāng)基底溫度為350℃時(shí)，F(xiàn)e-Ga薄膜的生長(zhǎng)模式可能發(fā)生了變化。一定濺射時(shí)間范圍內(nèi)，增加濺射時(shí)間能使Fe-Ga薄膜的顆粒尺寸變大，超出這一范圍，顆粒尺寸趨于不變。 磁性能的研究表明樣品均表現(xiàn)出典型的鐵磁特性，且濺射時(shí)基底溫度為150℃、200℃和250℃時(shí)的薄膜樣品矯頑力較小約40Oe左右，飽和磁場(chǎng)約100~200Oe，矩形比大于0.9，最大達(dá)到0.952。隨著濺射功率的增大，樣品的矯頑力總體呈減小趨勢(shì)，飽和磁化強(qiáng)度和剩余磁化強(qiáng)度逐漸減小，矩形比緩慢減小。隨著濺射時(shí)基底溫度的升高，樣品的矯頑力先減小后增大，飽和磁化強(qiáng)度基本呈下降趨勢(shì)，矩形比先增大后減小。隨著濺射時(shí)間的增加，樣品的矯頑力基本不變，飽和磁化強(qiáng)度和剩余磁化強(qiáng)度總體呈下降趨勢(shì)，樣品的矩形比基本不變，約為0.94，飽和磁場(chǎng)約為100~200Oe。
[Abstract]:......
【學(xué)位授予單位】：浙江理工大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類(lèi)號(hào)】：TB383.2

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 晏建武;潘津;張晨曙;李卿鵬;官劉毅;謝鵬;徐國(guó)華;;Fe-Ga合金超磁致伸縮薄膜的研究進(jìn)展[J];材料導(dǎo)報(bào);2013年01期

2 鄭永春;王世杰;馮俊明;李春來(lái);歐陽(yáng)自遠(yuǎn);劉建忠;李曉彪;;天然摻雜鐵氧體的電磁參數(shù)調(diào)控機(jī)制分析及其在吸波材料中的應(yīng)用[J];中國(guó)科學(xué)E輯:技術(shù)科學(xué);2006年05期

3 龔彥;蔣成保;徐惠彬;;硼添加對(duì)Fe-Ga合金相結(jié)構(gòu)和磁致伸縮的影響[J];金屬學(xué)報(bào);2006年08期

4 高芳;蔣成保;劉敬華;徐惠彬;;第三組元添加對(duì)Fe—Ga合金相組成和磁致伸縮性能的影響[J];金屬學(xué)報(bào);2007年07期

5 白海力,姜恩永;磁隧道結(jié)(MTJ)[J];科學(xué)通報(bào);2001年02期

6 何泓材;林元華;南策文;;多鐵性磁電復(fù)合薄膜[J];科學(xué)通報(bào);2008年10期

7 黃尚廉;智能材料系統(tǒng)與結(jié)構(gòu)——工程構(gòu)造安全監(jiān)控的一條嶄新思路[J];世界科技研究與發(fā)展;1996年Z1期

8 潘津;張晨曙;羅亮;晏建武;;磁控濺射制備Fe-Ga薄膜研究[J];熱加工工藝;2013年16期

9 劉國(guó)棟,李養(yǎng)賢,胡海寧,曲靜萍,柳祝紅,代學(xué)芳,張銘,崔玉亭,陳京蘭,吳光恒;甩帶Fe_(85)Ga_(15)合金的巨磁致伸縮研究[J];物理學(xué)報(bào);2004年09期

10 朱志永,王文全,苗元華,王巖松,陳麗婕,代學(xué)芳,劉國(guó)棟,陳京蘭,吳光恒;摻雜對(duì)Ni_(51.5)Mn_(25)Ga_(23.5)相變行為和磁性的影響[J];物理學(xué)報(bào);2005年10期

本文編號(hào)：1350875