本文關(guān)鍵詞：濺射功率對(duì)PET柔性襯底上制備ZnO:Ga薄膜的影響　出處：《陶瓷學(xué)報(bào)》2016年02期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：在室溫條件下,通過(guò)射頻磁控濺射法在柔性襯底PET上制備ZnO:Ga(GZO)透明導(dǎo)電薄膜。主要研究了濺射功率對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)、內(nèi)應(yīng)力、光學(xué)和電學(xué)性能的影響,并對(duì)樣品進(jìn)行了相關(guān)測(cè)試。XRD測(cè)試表明GZO薄膜具有六角纖維礦結(jié)構(gòu)的同時(shí)具有良好的C軸擇優(yōu)取向生長(zhǎng),但是衍射角出現(xiàn)明顯偏移,表明薄膜內(nèi)部存在較大應(yīng)力;SEM測(cè)試顯示薄膜表面晶粒具有良好的均勻均性和致密性,隨著濺射功率增加,晶粒尺寸按照一定規(guī)律變化。薄膜的平均透過(guò)率在85%左右,電阻率最低達(dá)到7.1×10~(-3)?·cm。
【作者單位】： 景德鎮(zhèn)陶瓷大學(xué)機(jī)械電子工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然基金項(xiàng)目(61066003) 江西省自然基金資助項(xiàng)目(20111BAB202005,20132BAB202001)
【分類號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： 0引言面,由于現(xiàn)在人們對(duì)于應(yīng)用設(shè)備要求的提升,柔性材料所展現(xiàn)的輕便、柔韌性強(qiáng)、價(jià)格便宜等特點(diǎn),　　近年來(lái),隨著光伏產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展,透明導(dǎo)電使其逐步取代玻璃材料成為可能�，F(xiàn)今,大量的柔薄膜的應(yīng)用技術(shù)也越來(lái)越成熟。等離子顯示器、性材料如聚酰亞胺(PI)、聚丙烯二酯(PPA)

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