發(fā)布時(shí)間：2017-12-14 17:32

  本文關(guān)鍵詞：磁控濺射參數(shù)對(duì)鈦酸鍶鋇薄膜生長(zhǎng)及介電性能的影響

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【摘要】：使用射頻磁控濺射系統(tǒng)在Pt/SiO_2/Si基片上沉積了Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3(BST)薄膜,研究了濺射過(guò)程中氧氬比與濺射總氣壓對(duì)BST薄膜生長(zhǎng)過(guò)程及介電性能的影響。通過(guò)XRD衍射儀、原子力顯微鏡等對(duì)在不同條件下制備出的薄膜樣品進(jìn)行了性能測(cè)試和分析。結(jié)果表明:增加氧氬比能夠增加薄膜表面晶粒尺寸,提升薄膜的結(jié)晶度,增加薄膜的介電常數(shù)并降低介電損耗,但同時(shí)也會(huì)降低薄膜的沉積速率;增加濺射氣壓會(huì)導(dǎo)致薄膜表面晶粒尺寸減小、結(jié)晶度降低,薄膜的沉積速率隨著濺射氣壓的增加呈現(xiàn)先增加后降低(濺射氣壓大于2Pa時(shí))的趨勢(shì)。
【作者單位】： 陜西師范大學(xué)物理學(xué)與信息技術(shù)學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51372148) 中央高校基本科研業(yè)務(wù)費(fèi)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)項(xiàng)目(GK201401003)
【分類(lèi)號(hào)】：O484
【正文快照】： PACS:68.55.-a,68.55.A-鈦酸鍶鋇(BST)材料具有介電常數(shù)高、介電損耗低等優(yōu)點(diǎn),在隨機(jī)動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器、微波器件、紅外探測(cè)器等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景[1-2]。隨著科技的進(jìn)步,使用塊體材料制備的鐵電器件的尺寸已經(jīng)無(wú)法滿(mǎn)足高集成技術(shù)的需求,鐵電薄膜材料納米尺度的物理特性吸引了眾

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1 馬青;王力;張紅波;陳林;;間斷性低氧對(duì)大鼠腓腸肌介電性能的影響[J];中國(guó)應(yīng)用生理學(xué)雜志;2009年04期

2 魯勇軍，余玨，任燕華，胡保衛(wèi);細(xì)胞和組織介電性能研究[J];中國(guó)醫(yī)學(xué)科學(xué)院學(xué)報(bào);1995年04期

3 周祝林;玻璃鋼及蜂窩夾層的高頻介電性能[J];物理;1988年04期

4 史偉,膝世寧;燒成條件對(duì)瓷料介電性的影響[J];聊城師院學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1997年02期

5 王壽太;高分子低溫介電性能與測(cè)試技術(shù)[J];低溫與超導(dǎo);1980年04期

6 李濤;徐強(qiáng);劉玲;;Sm_2Zr_2O_7-SiO_2復(fù)合材料的制備及介電性能研究[J];人工晶體學(xué)報(bào);2009年S1期

7 張俊吉;晁明舉;梁二軍;李明玉;李德川;;激光快速凝固法制備織構(gòu)化二鈦酸鋇及其介電性能研究[J];中國(guó)激光;2011年06期

8 尚文宇,劉慶峰,陳壽田;文石型碳酸鈣晶須及其復(fù)合體系介電性能的研究[J];電工電能新技術(shù);2001年01期

9 曾蓓,曹萬(wàn)強(qiáng);NaNbO_3-SrTiO_3陶瓷介電性能的研究[J];四川大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2005年S1期

10 蒲永平;楊公安;王瑾菲;楊文虎;;BaTiO_3-Nb_2O_5-Fe_2O_3陶瓷介電性能的研究[J];人工晶體學(xué)報(bào);2008年04期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 黨智敏;趙淑金;南策文;;不同介電性能的聚合物基復(fù)合材料的研究進(jìn)展[A];中國(guó)硅酸鹽學(xué)會(huì)2003年學(xué)術(shù)年會(huì)論文摘要集[C];2003年

2 馬青;;骨骼肌細(xì)胞介電性能的研究[A];中國(guó)生理學(xué)會(huì)第六屆全國(guó)青年生理學(xué)工作者學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要[C];2003年

3 馬青;;骨骼肌細(xì)胞頻域介電性能研究[A];中國(guó)生物醫(yī)學(xué)工程學(xué)會(huì)第六次會(huì)員代表大會(huì)暨學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要匯編[C];2004年

4 李建偉;聶延平;程翔宇;;淺談復(fù)合材料制件的高頻介電性能[A];中國(guó)電子學(xué)會(huì)化學(xué)工藝專(zhuān)業(yè)委員會(huì)第五屆年會(huì)論文集[C];2000年

5 崔學(xué)民;韓要叢;劉海鋒;周濟(jì);;水對(duì)堿礦渣膠凝材料介電性能的影響[A];《硅酸鹽學(xué)報(bào)》創(chuàng)刊50周年暨中國(guó)硅酸鹽學(xué)會(huì)2007年學(xué)術(shù)年會(huì)論文摘要集[C];2007年

6 崔學(xué)民;韓要叢;劉海鋒;曹德光;周濟(jì);;水對(duì)堿礦渣膠凝材料介電性能的影響(Ⅱ)[A];《硅酸鹽學(xué)報(bào)》創(chuàng)刊50周年暨中國(guó)硅酸鹽學(xué)會(huì)2007年學(xué)術(shù)年會(huì)論文摘要集[C];2007年

7 杜慧玲;姚熹;張良瑩;;Bi_2O_3-ZnO-Nb_2O_5-CaO四元焦綠石系統(tǒng)相結(jié)構(gòu)與介電性能研究[A];第四屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2001年

8 張俊吉;袁斌;晁明舉;;激光快速凝固法制備織構(gòu)化二鈦酸鋇及介電性能研究[A];魯豫贛黑蘇五省光學(xué)（激光）學(xué)會(huì)2011學(xué)術(shù)年會(huì)論文摘要集[C];2011年

9 劉韓星;郝華;陳磊;劉洋;熊博;堯中華;曹明賀;;BaTiO_3-BiScO_3基寬溫穩(wěn)定型陶瓷的制備及介電性能研究[A];第七屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（第1分冊(cè)）[C];2010年

10 焦崗成;王志育;樊慧慶;;鈮酸鉀鈉基陶瓷制備及其介電性能研究[A];2006年全國(guó)功能材料學(xué)術(shù)年會(huì)專(zhuān)輯[C];2006年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 楊會(huì)靜;典型電介質(zhì)材料的微波介電及吸波性能研究[D];北京理工大學(xué);2015年

2 高莉彬;鉍基焦綠石鈮酸鉍鎂材料結(jié)構(gòu)及薄膜的介電性能研究[D];電子科技大學(xué);2014年

3 李歡;鈮酸鉀鈉基材料壓電和介電調(diào)諧性能研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

4 江嬋;低介電常數(shù)微波陶瓷材料的制備、介電性能及機(jī)理研究[D];華南理工大學(xué);2012年

5 李海蓉;聚偏氟乙烯基復(fù)合材料的結(jié)構(gòu)調(diào)控與介電性能研究[D];武漢理工大學(xué);2014年

6 徐j;煤焦微波介電性能的研究[D];太原理工大學(xué);2015年

7 李玲霞;亞微米BaTiO_3 X7R MLC細(xì)晶陶瓷介質(zhì)材料的介電性能研究[D];天津大學(xué);2003年

8 朱小娜;(Ba,Ca)TiO_3相關(guān)材料的制備、結(jié)構(gòu)與性能[D];浙江大學(xué);2016年

9 余洪滔;CaCu_3Ti_4O_（12）基陶瓷的制備、結(jié)構(gòu)與介電性能研究[D];武漢理工大學(xué);2008年

10 胡星;改性鉛基鈣鈦礦陶瓷的結(jié)構(gòu)與介電性能[D];浙江大學(xué);2004年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 夏亞飛;高介電聚合物基復(fù)合材料制備與研究[D];華南理工大學(xué);2015年

2 孫逸塵;高介電常數(shù)低介電損耗聚偏氟乙烯—碳納米管/氰酸酯復(fù)合材料的研究[D];蘇州大學(xué);2015年

3 焦一成;高介電常數(shù)低介電損耗多相聚合物基復(fù)合材料的研究[D];蘇州大學(xué);2015年

4 趙旭;二氧化鈦基高介電陶瓷的制備及物性研究[D];山東大學(xué);2015年

5 張妍;元素?fù)诫sCaCu_3Ti_4O_(12)陶瓷介電性能與電學(xué)輸運(yùn)行為研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

6 王志偉;Ln_(1.5)Sr_(0.5)NiO_4（Ln=La、Nd）/聚偏氟乙烯介電復(fù)合材料[D];浙江大學(xué);2015年

7 李俊偉;溶膠—凝膠法制備Y_(2/3)Cu_3Ti_4O_(12)基巨介電陶瓷及其介電性能調(diào)控[D];陜西師范大學(xué);2015年

8 周亞鵬;錫鋅元素?fù)诫s的鈦酸鋇陶瓷制備與介電性能研究[D];河南科技大學(xué);2015年

9 杜勇;共沉淀法制備ZnNb_2O_6粉體及陶瓷介電性能研究[D];河南科技大學(xué);2015年

10 何山;終端短路法材料介電性能變溫測(cè)試技術(shù)研究[D];電子科技大學(xué);2014年

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本文編號(hào)：1288774