本文關(guān)鍵詞：ZnO薄膜硅微壓電矢量水聽(tīng)器

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【摘要】：提出了一種基于ZnO壓電薄膜的硅微壓電矢量水聽(tīng)器,其核心部件是利用微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制作的懸臂梁結(jié)構(gòu)壓電加速度計(jì)。由近似解析和有限元分析,得出加速度計(jì)的靈敏度和諧振頻率,并在此基礎(chǔ)上對(duì)其進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。研制了MEMS壓電加速度計(jì),并裝配后構(gòu)成MEMS矢量水聽(tīng)器。測(cè)試結(jié)果表明:加速度靈敏度在20~1,200 Hz范圍內(nèi)約為0.83 mV/(m/s~2)。經(jīng)過(guò)液柱法測(cè)量,在1 kHz時(shí),MEMS矢量水聽(tīng)器等效聲壓靈敏度為-229.5 dB(ref.1V/μPa),比同類型壓阻式MEMS矢量水聽(tīng)器的靈敏度高17 dB以上。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院聲學(xué)研究所聲學(xué)微機(jī)電系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院聲學(xué)研究所聲場(chǎng)聲信息國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(11074274,11174319,11474304)資助
【分類號(hào)】：TB565.1
【正文快照】： 2,^. 915 矢量水聽(tīng)器是一種有別于普通聲壓水聽(tīng)器的另一類水聲接收換能器,能測(cè)量水下聲場(chǎng)的質(zhì)點(diǎn)位移、速度、加速度等矢量信息。它與聲壓水聽(tīng)器聯(lián)合使用可以獲得水下復(fù)雜聲場(chǎng)的完整信息,即聲壓,質(zhì)點(diǎn)速度和它們之間相位差。進(jìn)而使水聲測(cè)量系統(tǒng)的抗干 擾能力、線譜檢測(cè)能力以及

【相似文獻(xiàn)】

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