四元陣型MEMS矢量水聽器微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
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【摘要】:針對當(dāng)前的MEMS矢量水聽器存在左右舷模糊問題,提出了一種四元陣型MEMS矢量水聽器微結(jié)構(gòu)。首先,從理論上分析了當(dāng)前的MEMS矢量水聽器左右舷模糊問題,從而提出了可消除左右舷模糊的四元陣型MEMS矢量水聽器微結(jié)構(gòu)。其次,對四元陣型MEMS矢量水聽器微結(jié)構(gòu)進(jìn)行有限元仿真,聲源方向可以通過分析各陣元應(yīng)力分布情況而唯一確定。最后,通過駐波聲場試驗(yàn)驗(yàn)證其可行性,結(jié)果表明,該微結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)左右舷分辨,有效消除左右舷模糊。
【作者單位】: 中北大學(xué)儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)電子測試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】:應(yīng)用于海底長期觀測網(wǎng)的納機(jī)電矢量水聽器項(xiàng)目(2013AA09A412) 基于納機(jī)電矢量水聽器面陣的水下目標(biāo)成像機(jī)理技術(shù)研究項(xiàng)目(61127008/F040703)
【分類號】:TB565.1
【正文快照】: 矢量水聽器作為一種能夠時(shí)間同步、空間共點(diǎn)測得水下聲場矢量信息的傳感器[1],在海洋工程和海洋開發(fā)中有著廣泛的應(yīng)用前景。目前,有很多關(guān)于矢量水聽器技術(shù)的研究,具有代表性的是美國Benjamin利用T356B08型加速度計(jì)采用部分集成電路工藝制作矢量水聲傳感器[2]。1996年,Howard
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,本文編號:1195894
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