本文關鍵詞：鑲嵌納米晶硅的氧化硅薄膜微觀結構調整及其光吸收特性

  更多相關文章： 紅外光譜 納米晶硅 氧化硅 鍵合結構

【摘要】：采用等離子體化學氣相沉積(PECVD)技術在不同N_2O流量條件下制備了鑲嵌有納米晶硅(nc-Si)的富硅氧化硅(SiOx)薄膜,利用透射電鏡(TEM),X射線衍射分析(XRD),傅里葉變換紅外(FTIR)和透射光譜技術研究了薄膜中的氫含量和氧含量變化及其對薄膜晶化度、薄膜鍵合結構和光吸收特性的影響。結果表明,薄膜由nc-Si粒子和非晶SiOx組成,為混合相結構。nc-Si的生長與氧化反應的競爭決定了薄膜微觀結構、鍵合特性以及光吸收特性。隨著N_2O流量的增加,薄膜的晶粒尺寸逐漸減小。晶界區(qū)過渡晶硅的比例減少,晶粒界面隨之消失,帶隙呈持續(xù)增加趨勢。該實驗結果為ncSi/SiOx薄膜在新型太陽電池中的應用提供了基礎數(shù)據(jù)。
【作者單位】： 樂山職業(yè)技術學院;華北電力大學數(shù)理系;
【基金】：國家自然基金資助項目(2014MS167) 中央高校基金資助項目(2014MS167) 樂山職業(yè)技術學院院級課題資助項目(9KY2014034)
【分類號】：TM914.4;TB383.2
【正文快照】： 1引言近年來的研究表明,鑲嵌納米晶硅的氧化硅薄膜(nc-Si/SiOx)作為一種混合相結構的材料,具有良好的穩(wěn)定性和光電特性,在新型太陽能電池中具有廣闊的應用前景[1-2]。硅納米晶體(nc-Si)作為一種納米半導體材料,當它的尺寸小于體硅材料的激子波爾半徑時會呈現(xiàn)與體硅材料不同的

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前9條

1 吳俠,吳玉程,李廣海,張立德;Ag/SiO_2介孔組裝體系的結構與光吸收特性[J];合肥工業(yè)大學學報(自然科學版);2004年01期

2 繆長宗;王長順;;銀納米材料的光吸收特性理論研究[J];中國科技信息;2013年11期

3 牟婉君;謝翔;李興亮;張銳;唐慧;周官宏;魏洪源;;輔助劑對合成WO_3納米棒形貌和光吸收特性的影響[J];人工晶體學報;2014年02期

4 傅小明;潘衛(wèi)軍;;八角微米結構CuO的水熱法合成及其光吸收特性(英文)[J];硅酸鹽通報;2013年02期

5 潘衛(wèi)軍;傅小明;劉照文;;CuO微米球的水熱法合成及其光吸收特性[J];稀有金屬與硬質合金;2013年02期

6 郭震寧,郭亨群,王加賢,張文珍,李世忱;nc-Si/a-SiO_x:H復合薄膜的結構及光吸收特性[J];功能材料與器件學報;2001年02期

7 吳晨;楊帆;張熠;吳凱;顧偉霞;馬錫英;;銀摻雜對MoS_2薄膜特性的影響[J];微納電子技術;2014年08期

8 劉照文;傅小明;;硫酸鈦水熱水解法合成納米TiO_2及其光吸收特性[J];稀有金屬與硬質合金;2012年06期

9 ;[J];;年期

，

本文編號：1193782