本文關(guān)鍵詞：不同厚度PZT薄膜的制備及電性能特性研究

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【摘要】：采用sol-gel(溶膠-凝膠)法在Pt/Ti/SiO_2/Si基底上分別制備了厚度為400 nm、600 nm、800 nm的PZT(鋯鈦酸鉛,Zr/Ti=52/48)薄膜,研究了厚度對(duì)薄膜介電性能與鐵電性能的影響。通過對(duì)薄膜的鐵電性能與介電性能進(jìn)行測(cè)試,分析了不同厚度薄膜的剩余極化強(qiáng)度、介電常數(shù)與介電損耗,進(jìn)一步分析了薄膜的介電調(diào)諧性能。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,薄膜的介電常數(shù)與介電損耗隨薄膜厚度的增大而增加;厚度為600 nm的薄膜具有最好的介電調(diào)諧性能與鐵電性能。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：基于黑硅吸收層的多層組合納米膜紅外探測(cè)器及其氣體檢測(cè)技術(shù)項(xiàng)目(51205373)
【分類號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： 鉛基薄膜如PT、PCT、PLT和PZT等,由于具有優(yōu)良的介電、鐵電及熱釋電性能,成為當(dāng)前國際上備受關(guān)注的功能材料,被廣泛應(yīng)用于制備熱成像器件、熱釋電紅外傳感器、MEMS器件和鐵電隨機(jī)存儲(chǔ)器等[1-4]。PZT薄膜器件具有響應(yīng)快,探測(cè)信號(hào)快,結(jié)構(gòu)緊湊,機(jī)械強(qiáng)度好[5],可提高波長(zhǎng)范圍等特

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中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 吳瑞珠;車國金;;溫度對(duì)塑料介電性能的影響[J];電子工藝技術(shù);1983年11期

2 李玲霞,吳霞宛,張志萍,王洪儒;一種設(shè)計(jì)無機(jī)介質(zhì)材料介電性能的新方法[J];硅酸鹽通報(bào);2001年06期

3 陳長(zhǎng)慶,吳霞宛,王鴻儒,張志萍;添加物對(duì)Ag_2O-Na_2O-Nb_2O_5-Ta_2O_5介電性能的影響[J];壓電與聲光;2003年03期

4 吳堅(jiān)強(qiáng),寧武成,胡伯文,王群;B_2O_3-P_2O_5-SiO_2系陶瓷的相組成和介電性能[J];中國陶瓷;2003年03期

5 李玲霞,吳霞宛,王洪儒,張志萍,余昊明;高頻介質(zhì)系統(tǒng)介電性能與相組成的定量關(guān)系分析[J];物理化學(xué)學(xué)報(bào);2004年04期

6 徐言超;于曉杰;岳云龍;陳現(xiàn)景;;氧化物玻璃介電性能及研究現(xiàn)狀[J];濟(jì)南大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2007年01期

7 曾憲橋;;鋇鈦釹系介質(zhì)材料的燒結(jié)和介電性能研究[J];黑龍江科技信息;2009年15期

8 王壽泰,劉鈞壁;船用電纜浸水介電性能的研究[J];上海交通大學(xué)學(xué)報(bào);1981年03期

9 劉樹全;漆宗能;;加工條件對(duì)聚對(duì)苯二甲酸乙二酯介電性能的影響[J];絕緣材料通訊;1983年04期

10 Marvin L.Bromberg;顧寧君;;介電性能的測(cè)量和應(yīng)用[J];絕緣材料通訊;1987年03期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 黨智敏;趙淑金;南策文;;不同介電性能的聚合物基復(fù)合材料的研究進(jìn)展[A];中國硅酸鹽學(xué)會(huì)2003年學(xué)術(shù)年會(huì)論文摘要集[C];2003年

2 馬青;;骨骼肌細(xì)胞介電性能的研究[A];中國生理學(xué)會(huì)第六屆全國青年生理學(xué)工作者學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要[C];2003年

3 馬青;;骨骼肌細(xì)胞頻域介電性能研究[A];中國生物醫(yī)學(xué)工程學(xué)會(huì)第六次會(huì)員代表大會(huì)暨學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要匯編[C];2004年

4 李建偉;聶延平;程翔宇;;淺談復(fù)合材料制件的高頻介電性能[A];中國電子學(xué)會(huì)化學(xué)工藝專業(yè)委員會(huì)第五屆年會(huì)論文集[C];2000年

5 崔學(xué)民;韓要叢;劉海鋒;周濟(jì);;水對(duì)堿礦渣膠凝材料介電性能的影響[A];《硅酸鹽學(xué)報(bào)》創(chuàng)刊50周年暨中國硅酸鹽學(xué)會(huì)2007年學(xué)術(shù)年會(huì)論文摘要集[C];2007年

6 崔學(xué)民;韓要叢;劉海鋒;曹德光;周濟(jì);;水對(duì)堿礦渣膠凝材料介電性能的影響(Ⅱ)[A];《硅酸鹽學(xué)報(bào)》創(chuàng)刊50周年暨中國硅酸鹽學(xué)會(huì)2007年學(xué)術(shù)年會(huì)論文摘要集[C];2007年

7 杜慧玲;姚熹;張良瑩;;Bi_2O_3-ZnO-Nb_2O_5-CaO四元焦綠石系統(tǒng)相結(jié)構(gòu)與介電性能研究[A];第四屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2001年

8 張俊吉;袁斌;晁明舉;;激光快速凝固法制備織構(gòu)化二鈦酸鋇及介電性能研究[A];魯豫贛黑蘇五省光學(xué)（激光）學(xué)會(huì)2011學(xué)術(shù)年會(huì)論文摘要集[C];2011年

9 劉韓星;郝華;陳磊;劉洋;熊博;堯中華;曹明賀;;BaTiO_3-BiScO_3基寬溫穩(wěn)定型陶瓷的制備及介電性能研究[A];第七屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（第1分冊(cè)）[C];2010年

10 焦崗成;王志育;樊慧慶;;鈮酸鉀鈉基陶瓷制備及其介電性能研究[A];2006年全國功能材料學(xué)術(shù)年會(huì)專輯[C];2006年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 楊會(huì)靜;典型電介質(zhì)材料的微波介電及吸波性能研究[D];北京理工大學(xué);2015年

2 高莉彬;鉍基焦綠石鈮酸鉍鎂材料結(jié)構(gòu)及薄膜的介電性能研究[D];電子科技大學(xué);2014年

3 李歡;鈮酸鉀鈉基材料壓電和介電調(diào)諧性能研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

4 江嬋;低介電常數(shù)微波陶瓷材料的制備、介電性能及機(jī)理研究[D];華南理工大學(xué);2012年

5 李海蓉;聚偏氟乙烯基復(fù)合材料的結(jié)構(gòu)調(diào)控與介電性能研究[D];武漢理工大學(xué);2014年

6 徐j;煤焦微波介電性能的研究[D];太原理工大學(xué);2015年

7 李玲霞;亞微米BaTiO_3 X7R MLC細(xì)晶陶瓷介質(zhì)材料的介電性能研究[D];天津大學(xué);2003年

8 朱小娜;(Ba,Ca)TiO_3相關(guān)材料的制備、結(jié)構(gòu)與性能[D];浙江大學(xué);2016年

9 余洪滔;CaCu_3Ti_4O_（12）基陶瓷的制備、結(jié)構(gòu)與介電性能研究[D];武漢理工大學(xué);2008年

10 胡星;改性鉛基鈣鈦礦陶瓷的結(jié)構(gòu)與介電性能[D];浙江大學(xué);2004年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 夏亞飛;高介電聚合物基復(fù)合材料制備與研究[D];華南理工大學(xué);2015年

2 孫逸塵;高介電常數(shù)低介電損耗聚偏氟乙烯—碳納米管/氰酸酯復(fù)合材料的研究[D];蘇州大學(xué);2015年

3 焦一成;高介電常數(shù)低介電損耗多相聚合物基復(fù)合材料的研究[D];蘇州大學(xué);2015年

4 趙旭;二氧化鈦基高介電陶瓷的制備及物性研究[D];山東大學(xué);2015年

5 張妍;元素?fù)诫sCaCu_3Ti_4O_(12)陶瓷介電性能與電學(xué)輸運(yùn)行為研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

6 王志偉;Ln_(1.5)Sr_(0.5)NiO_4（Ln=La、Nd）/聚偏氟乙烯介電復(fù)合材料[D];浙江大學(xué);2015年

7 李俊偉;溶膠—凝膠法制備Y_(2/3)Cu_3Ti_4O_(12)基巨介電陶瓷及其介電性能調(diào)控[D];陜西師范大學(xué);2015年

8 周亞鵬;錫鋅元素?fù)诫s的鈦酸鋇陶瓷制備與介電性能研究[D];河南科技大學(xué);2015年

9 杜勇;共沉淀法制備ZnNb_2O_6粉體及陶瓷介電性能研究[D];河南科技大學(xué);2015年

10 何山;終端短路法材料介電性能變溫測(cè)試技術(shù)研究[D];電子科技大學(xué);2014年

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