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寬帶反射膜和誘導(dǎo)透射濾光片的優(yōu)化設(shè)計與性能分析

發(fā)布時間:2017-11-10 07:26

  本文關(guān)鍵詞:寬帶反射膜和誘導(dǎo)透射濾光片的優(yōu)化設(shè)計與性能分析


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【摘要】:隨著國民經(jīng)濟(jì)的騰飛以及各種高科技設(shè)備的飛速發(fā)展,光學(xué)薄膜被越來越廣泛地應(yīng)用在光學(xué)器件、光電器件以及光通信器件上。本文主要針對寬帶高反膜和誘導(dǎo)透射濾光片進(jìn)行設(shè)計并分析其光學(xué)特性。寬帶反射膜在宇宙物理、生命科學(xué)、同步輻射、原子結(jié)構(gòu)、納米器件、大氣物理、空間通訊、光刻技術(shù)、激光醫(yī)療設(shè)備、定位及監(jiān)控系統(tǒng)、武器系統(tǒng)等領(lǐng)域有著極其重要的應(yīng)用。目前寬帶反射膜存在著材料的折射率有限、反射帶寬和反射率不能滿足需要、制備過程中薄膜的厚度和折射率難以精確控制等重要的問題。為了滿足光學(xué)元件對寬光譜反射的要求,采用多個膜堆結(jié)構(gòu)展寬反射帶以及其他設(shè)計方法,使用TFCalc優(yōu)化設(shè)計膜系,對膜系結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行不斷地改進(jìn)和調(diào)整,設(shè)計了帶寬為115~220nm、220~400nm、400~900nm,900~2000nm和450~14000nm入射角分別為0°和60°的多個反射膜并且對其性能進(jìn)行了分析。結(jié)果表明:所設(shè)計的反射膜的反射率在超寬光譜的范圍內(nèi)均達(dá)到了很高的水平;周期結(jié)構(gòu)膜系與級數(shù)遞增膜系相比,可以用更少的膜層數(shù)設(shè)計出更高的反射率;介質(zhì)膜受入射角度的影響大,金屬膜受入射角度的影響小。為了滿足帶通濾光片對寬帶截止的要求,采用誘導(dǎo)透射的方法設(shè)計了中心波長為550nm的誘導(dǎo)透射濾光片,峰值透射率為74.8%,半寬度為3.5nm,結(jié)果表明,所設(shè)計的誘導(dǎo)透射濾光片具有很好的性能;入射角的增大影響帶通濾光片的使用效果,使用時入射角應(yīng)該不超過10°。
【學(xué)位授予單位】:青島大學(xué)
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2016
【分類號】:O484

【相似文獻(xiàn)】

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1 尚淑珍;趙祖欣;邵建達(dá);范正修;;高反射率193nm反射膜的實現(xiàn)[J];應(yīng)用激光;2008年01期

2 尚淑珍;徐山清;邵建達(dá);;高性能193nm反射膜的制備與誤差分析[J];應(yīng)用激光;2008年03期

3 ;關(guān)于鍍制6328,

本文編號:1165670


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