本文關(guān)鍵詞：鐵鋁阻抗匹配靶的精密擴散連接

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【摘要】：為了獲得某些材料在在高壓條件下的物態(tài)方程,制備了用于激光驅(qū)動狀態(tài)方程實驗的鐵鋁阻抗匹配靶,研究了鐵鋁薄膜的精密熱擴散連接技術(shù)。以冷軋鐵薄膜和超精密加工鋁薄膜為原料,研究了熱復合工藝條件對其表面形貌、結(jié)晶性能、連接界面等參數(shù)的影響。利用白光干涉共焦顯微鏡、X射線衍射儀、膜厚測量儀、掃描電鏡等儀器對靶件的表面形貌、厚度、結(jié)晶特性、殘余應(yīng)力及界面成分分布等進行分析表征,掌握了相關(guān)參數(shù)的變化趨勢。據(jù)此優(yōu)化工藝參數(shù),制備了高質(zhì)量的鐵-鋁阻抗匹配靶。對成靶的測試結(jié)果顯示,其表面粗糙度小于100nm、厚度一致性控制在100nm以內(nèi)、界面擴散層厚度約為200nm,且未觀測到顯微缺陷,滿足物理實驗的具體要求。
【作者單位】： 中國工程物理研究院激光聚變研究中心;綿陽師范學院;
【關(guān)鍵詞】： 鐵 鋁 鐵鋁薄膜 阻抗匹配靶 擴散連接
【基金】：中國工程物理研究院超精密加工技術(shù)重點實驗室開放基金資助項目(No.KF13003)
【分類號】：O484.4
【正文快照】： 1引言鐵元素(Fe)作為慣性約束核聚變(ICF)研究中重要的目標材料,掌握其在高壓條件下的物態(tài)方程對于天體物理、地球物理及ICF等領(lǐng)域的研究具有基礎(chǔ)性意義[1-2]。在1~10幾Tpa壓力段,理論方法只能給出比較近似的描述,必須依賴實驗測量獲得的物態(tài)方程數(shù)據(jù)來建立恰當?shù)奈锢砟Ｐ?并

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本文編號：1024188