發(fā)布時間：2017-10-12 17:06

  本文關(guān)鍵詞：二階關(guān)聯(lián)成像系統(tǒng)寬光譜吸收膜研制

  更多相關(guān)文章： 薄膜 關(guān)聯(lián)成像 階梯式退火 逆向反演 內(nèi)應(yīng)力 吸收膜

【摘要】：為滿足關(guān)聯(lián)成像系統(tǒng)抑制背景的需求,選用Al、Cr和SiO_2作為鍍膜材料,依據(jù)薄膜吸收理論,結(jié)合膜系設(shè)計軟件設(shè)計了寬光譜吸收膜,并采用真空沉積技術(shù)獲得了該薄膜樣品.通過真空階梯式退火,減小了膜層內(nèi)應(yīng)力,解決了薄膜牢固度問題;采用交互式分析對測試結(jié)果逆向反演,通過優(yōu)化工藝參量,使膜系中敏感薄層厚度得以精準控制,并減小了膜厚控制誤差.制備的吸收膜在400~1 100nm波段平均吸收率達到99.1%,滿足系統(tǒng)使用要求.
【作者單位】： 長春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 薄膜 關(guān)聯(lián)成像 階梯式退火 逆向反演 內(nèi)應(yīng)力 吸收膜
【基金】：吉林省重大科技攻關(guān)專項(No.20140203002GX)資助~~
【分類號】：O484
【正文快照】： 0引言關(guān)聯(lián)成像亦稱鬼成像,其成像具有非定域性,在軍事和遙感領(lǐng)域有著良好的應(yīng)用前景[1-2].二階關(guān)聯(lián)成像與傳統(tǒng)成像系統(tǒng)不同,該系統(tǒng)中包括信號光路和參考光路,其中信號光路經(jīng)過待測物體,由桶探測器收集信息,參考光路由具有空間分辨率的點探測器收集信息,通過兩支光路的符合測量，

本文編號：1019884