產(chǎn)能管理決策問題正逐步成為半導(dǎo)體加工中最重要的調(diào)度決策問題之一。然而,由于其面臨不同于傳統(tǒng)生產(chǎn)流程的基本特征以及需要考慮較多不確定且復(fù)雜的環(huán)境因素等困難,該問題較少被人所研究。較少的理論研究致使其成為制約實(shí)際生產(chǎn)決策的關(guān)鍵瓶頸因素之一。為了彌補(bǔ)實(shí)際需求與理論研究之間的差距,本文致力于求解該問題。由于半導(dǎo)體加工行業(yè)中的復(fù)雜性,本研究主要利用兩類互為補(bǔ)充互相促進(jìn)的理論方法,即流程柔性理論與隨機(jī)優(yōu)化,對(duì)問題進(jìn)行研究。基于半導(dǎo)體產(chǎn)能管理決策問題本身的基本特征,本文重點(diǎn)考慮了具有產(chǎn)能損失的前提條件以及三類具有實(shí)用意義的不確定性環(huán)境因素,即由產(chǎn)能測(cè)試（也稱為資質(zhì)測(cè)試）本身所造成的產(chǎn)能損失,由傳統(tǒng)因素造成的產(chǎn)能損失以及隨機(jī)的產(chǎn)品需求。半導(dǎo)體產(chǎn)能測(cè)試是半導(dǎo)體加工產(chǎn)業(yè)中必要的工藝要求之一,而就性質(zhì)上而言,半導(dǎo)體產(chǎn)能測(cè)試過程本身就是一個(gè)不斷增加柔性的過程,不需要額外為了增加系統(tǒng)柔性而付出成本。故而,將流程柔性研究領(lǐng)域中的相關(guān)理論概念以及設(shè)計(jì)有效配置結(jié)構(gòu)的指導(dǎo)原則引入進(jìn)來(lái)將有助于合理地解決產(chǎn)能管理決策問題,增加系統(tǒng)績(jī)效,提高服務(wù)水平,因而有著重要意義。然而,傳統(tǒng)的流程柔性領(lǐng)域里的理論研究沒有考慮到因資質(zhì)測(cè)試... 

【文章來(lái)源】：上海交通大學(xué)上海市 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

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【學(xué)位級(jí)別】：博士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
第1章 緒論
    1.1 半導(dǎo)體制造背景介紹
    1.2 半導(dǎo)體產(chǎn)能管理決策問題的研究?jī)?nèi)容
    1.3 半導(dǎo)體產(chǎn)能管理決策問題的研究目的及意義
    1.4 研究方法和技術(shù)路線
    1.5 本章小結(jié)
第2章 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀及分析
    2.1 半導(dǎo)體生產(chǎn)中的產(chǎn)能管理決策
    2.2 隨機(jī)優(yōu)化算法
        2.2.1 L型算法
        2.2.2 拉格朗日松弛分解算法與次梯度法
        2.2.3 隨機(jī)優(yōu)化中的加速求解技術(shù)
        2.2.4 可替代的次梯度算法
        2.2.5 隨機(jī)優(yōu)化中的連續(xù)型隨機(jī)變量處理方法
    2.3 柔性與流程柔性
        2.3.1 柔性及柔性制造系統(tǒng)
        2.3.2 流程柔性
第3章 產(chǎn)能管理決策問題特征及研究方法概述
    3.1 半導(dǎo)體產(chǎn)能管理決策問題特征的深入挖掘
    3.2 流程柔性與隨機(jī)優(yōu)化研究方法的選擇原因
        3.2.1 選擇柔性理論與隨機(jī)優(yōu)化方法研究問題的原因
        3.2.2 與以往研究文獻(xiàn)在流程柔性理論上的不同點(diǎn)
        3.2.3 與以往研究文獻(xiàn)在數(shù)學(xué)規(guī)劃方法上的不同點(diǎn)
        3.2.4 常用隨機(jī)優(yōu)化算法及選擇
    3.3 流程柔性與隨機(jī)優(yōu)化算法中的基本理論
        3.3.1 流程柔性理論中的“長(zhǎng)鏈”
        3.3.2 拉格朗日對(duì)偶解的有效性
        3.3.3 可替代的次梯度算法的求解高效性及收斂性缺陷
    3.4 本章小結(jié)
第4章 產(chǎn)能損失下的流程柔性理論研究
    4.1 研究背景與貢獻(xiàn)
    4.2 不考慮產(chǎn)能損失的柔性配置結(jié)構(gòu)
    4.3 產(chǎn)能損失下的配置結(jié)構(gòu)—2階配置結(jié)構(gòu)
        4.3.1 配置結(jié)構(gòu)定義及符號(hào)表示
        4.3.2 開鏈績(jī)效的表達(dá)及不確定性因素的簡(jiǎn)化
        4.3.3 產(chǎn)能損失下的閉鏈
        4.3.4 產(chǎn)能損失下的開鏈
        4.3.5 多短鏈結(jié)構(gòu)
        4.3.6 產(chǎn)能損失下的開鏈與修正的開鏈的績(jī)效差及其性質(zhì)
        4.3.7 二階配置結(jié)構(gòu)中的最優(yōu)結(jié)構(gòu)：條件及性質(zhì)
    4.4 產(chǎn)能損失下的配置結(jié)構(gòu)—非2階配置結(jié)構(gòu)
        4.4.1 簡(jiǎn)單的“閉鏈—單一鏈”結(jié)構(gòu)
        4.4.2 “閉鏈—開鏈”結(jié)構(gòu)
        4.4.3 聯(lián)通鏈中的最優(yōu)結(jié)構(gòu)
    4.5 產(chǎn)能損失及成本限制下的最優(yōu)結(jié)構(gòu)
    4.6 基于啟發(fā)式算法的非對(duì)稱系統(tǒng)柔性結(jié)構(gòu)獲取
    4.7 本章小結(jié)
第5章 產(chǎn)能管理決策問題研究—基于隨機(jī)優(yōu)化的角度
    5.1 半導(dǎo)體產(chǎn)能管理決策問題的隨機(jī)優(yōu)化模型
    5.2 子問題求解算法
    5.3 可替代的次梯度算法
    5.4 推導(dǎo)可行性解的啟發(fā)式算法
    5.5 算法的終止條件
    5.6 簡(jiǎn)化的可替代次梯度算法及其提供的上界
    5.7 數(shù)值實(shí)驗(yàn)
    5.8 本章小結(jié)
第6章 結(jié)論與展望
    6.1 主要結(jié)論
    6.2 研究展望
參考文獻(xiàn)
附錄A 不同分布下的結(jié)構(gòu)績(jī)效與邊緣收益
致謝
攻讀博士學(xué)位期間發(fā)表的論文


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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[2]基于最優(yōu)化的冶金生產(chǎn)批量計(jì)劃及調(diào)度問題研究[D]. 蔣淑珺.東北大學(xué) 2010

碩士論文
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[2]養(yǎng)老金投資策略的二階段隨機(jī)規(guī)劃模型研究[D]. 王仁昌.華北電力大學(xué) 2015
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[4]Ⅰ公司基于產(chǎn)能優(yōu)化的設(shè)備調(diào)試及維護(hù)方法的研究[D]. 劉午.上海交通大學(xué) 2012



本文編號(hào)：3598447