本文選題：反應(yīng)磁控濺射 + CrNX　； 參考：《中國(guó)表面工程》2010年03期

【摘要】：采用反應(yīng)磁控濺射制備不同氮?dú)饬髁肯碌腃rNX膜,觀察薄膜顏色的變化,采用球盤(pán)式摩擦磨損儀、臺(tái)階儀、金相顯微鏡測(cè)試薄膜的耐磨性能,并采用X射線衍射技術(shù)、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡觀測(cè)薄膜的相成份以及微觀形貌。研究結(jié)果表明,隨著氮?dú)夂康脑黾?薄膜顏色由銀灰色逐漸過(guò)渡為深灰色,薄膜相結(jié)構(gòu)由單相Cr2N轉(zhuǎn)變?yōu)镃r2N和CrN混合相繼而轉(zhuǎn)變?yōu)閱蜗郈rN,當(dāng)?shù)獨(dú)饬髁繛?0cm3·min-1以及30cm3·min-1時(shí)薄膜表現(xiàn)出良好的耐磨性。采用高氮?dú)饬髁康墓に囧冎虚g層,低氮?dú)饬髁康墓に囧儽砻鎸?復(fù)合薄膜的耐磨性大幅度提高,同時(shí)能夠獲得美觀的銀灰色外觀。
[Abstract]:The CrNX films with different nitrogen flux were prepared by reactive magnetron sputtering. The color changes of the films were observed. The wear resistance of the films was measured by ball disk friction and wear tester, step tester and metallographic microscope, and X-ray diffraction technique was used. The phase composition and microstructure of the films were observed by field emission scanning electron microscope (SEM). The results showed that with the increase of nitrogen content, the color of the film gradually changed from silver gray to dark gray. The phase structure of the film changed from single-phase Cr2N to Cr2N and CrN, and then changed to single-phase CrN.The film exhibited good wear resistance when the nitrogen flow rate was 20cm3 min-1 and 30cm3 min-1. The wear resistance of the composite film is greatly improved by using the process of high nitrogen flow rate plating intermediate layer and low nitrogen flow process plating surface layer, and the beautiful silver-gray appearance can be obtained at the same time.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所;
【基金】：浙江省科技攻關(guān)項(xiàng)目(2008C21055) 浙江省重大科技專(zhuān)項(xiàng)(2009C11SA550048)
【分類(lèi)號(hào)】：TG174.44

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1776992