本文關(guān)鍵詞：甲醛氣體傳感器的研制

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【摘要】：甲醛廣泛存在于工業(yè)制造產(chǎn)業(yè)和家庭裝修之中,甲醛的致癌性對人身體的傷害最大。因此實現(xiàn)快速檢測甲醛,是關(guān)乎人們生命健康的大事,具有深遠意義。本文基于SnO2材料的優(yōu)異特征,對其進行摻雜處理制作出了甲醛氣體傳感器,并進行了性能測試。本文利用氧化、光刻、濺射、剝離等工藝步驟在硅襯底上制作了金電極。利用溶膠-凝膠法制備SnO2薄膜、Ti摻雜的SnO2薄膜、Cu摻雜的SnO2薄膜。先將制備好的薄膜利用勻膠工藝將薄膜涂覆在叉指電極上,然后對薄膜進行干燥、退火處理。通過XRD、SEM和AFM表征分析結(jié)果,最終確定最佳的退火溫度是550℃。其中Cu摻雜晶粒尺寸25nm,薄膜厚度180nm,分散性較好,滿足實驗要求。本文也利用磁控濺射法制作了Ti摻雜的SnO2薄膜。通過對元件氣敏特性分析,確定了未摻雜元件的最佳溫度為240℃,摻雜元件是230℃。對無摻雜、摻雜Ti、摻雜Cu的元件分別測量靈敏度、重復(fù)性、響應(yīng)時間和恢復(fù)時間等參數(shù)。通過性能比較可知,Ti摻雜元件優(yōu)于Cu摻雜元件,也優(yōu)于無摻雜的元件,其中靈敏度更為明顯。與未摻雜的情況下相比,摻雜的元件的響應(yīng)時間和恢復(fù)時間都有明顯縮短。本文在原理上對差異進行了討論。
【學(xué)位授予單位】：黑龍江大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TP212

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