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薄膜技術與薄膜材料

書籍作者：

田民波

書籍出版：

清華大學出版社

書籍頁數(shù)：

962

書籍ISBN：

9787302132387

書籍人氣：

4437

推薦指數(shù)：

★★★★

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薄膜技術與薄膜材料
薄膜及微細加工技術的應用范圍極為廣泛，從大規(guī)模集成電路、電子元器件、平板顯示器、信息記錄與存儲、MEMS、傳感器、太陽能電池，到材料的表面改性等，涉及高新技術產(chǎn)業(yè)的各個領域。本書內(nèi)容包括真空技術基礎、薄膜制備、微細加工、薄膜材料及應用、薄膜成分與結(jié)構分析等5大部分，涉及薄膜技術與薄膜材料的各個方面，知識全面，脈絡清晰。全書共17章，，文字通俗易懂，并配有大量圖解，有利于對基本知識的理解、掌握與運用。對于從事相關行業(yè)的科技工作者與工程技術人員，本書具有極為難得的參考價值，同時也是其他感興趣讀者了解薄膜材料與技術在高新技術中應用的一本很好的入門書籍。
《薄膜技術與薄膜材料》具有極為難得的參考價值，同時也是其他感興趣讀者了解薄膜材料與技術在高新技術中應用的一本很好的入門書籍。

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