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薄膜技術(shù)與薄膜材料

書籍作者：

田民波

書籍出版：

清華大學(xué)出版社

書籍頁數(shù)：

962

書籍ISBN：

9787302132387

書籍人氣：

4437

推薦指數(shù)：

★★★★

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薄膜技術(shù)與薄膜材料
薄膜及微細(xì)加工技術(shù)的應(yīng)用范圍極為廣泛，從大規(guī)模集成電路、電子元器件、平板顯示器、信息記錄與存儲、MEMS、傳感器、太陽能電池，到材料的表面改性等，涉及高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的各個領(lǐng)域。本書內(nèi)容包括真空技術(shù)基礎(chǔ)、薄膜制備、微細(xì)加工、薄膜材料及應(yīng)用、薄膜成分與結(jié)構(gòu)分析等5大部分，涉及薄膜技術(shù)與薄膜材料的各個方面，知識全面，脈絡(luò)清晰。全書共17章，，文字通俗易懂，并配有大量圖解，有利于對基本知識的理解、掌握與運(yùn)用。對于從事相關(guān)行業(yè)的科技工作者與工程技術(shù)人員，本書具有極為難得的參考價(jià)值，同時也是其他感興趣讀者了解薄膜材料與技術(shù)在高新技術(shù)中應(yīng)用的一本很好的入門書籍。
《薄膜技術(shù)與薄膜材料》具有極為難得的參考價(jià)值，同時也是其他感興趣讀者了解薄膜材料與技術(shù)在高新技術(shù)中應(yīng)用的一本很好的入門書籍。

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