In_xGa_1-xAs是應(yīng)用于短波紅外波段探測(cè)的優(yōu)良材料,在空間遙感領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用價(jià)值。本論文針對(duì)高靈敏度探測(cè)的應(yīng)用需求,圍繞平面型InxGa1-xAs探測(cè)器的關(guān)鍵工藝及相關(guān)物理機(jī)制開(kāi)展了研究。研究了晶格匹配InGaAs探測(cè)器和延伸波長(zhǎng)InGaAs探測(cè)器的p電極歐姆接觸及溫度特性;分析了真空環(huán)境熱處理對(duì)SiNx膜鈍化性能的影響,優(yōu)化了擴(kuò)散雜質(zhì)激活熱處理參數(shù),并進(jìn)行了不同周長(zhǎng)面積比（P/A）器件、32×32和512×256元面陣探測(cè)器驗(yàn)證,分析了激活熱處理對(duì)面陣探測(cè)器暗電流、探測(cè)率等性能以及大面陣焦平面探測(cè)器均勻性的影響,并利用優(yōu)化的工藝制備了高性能的1024×128元InGaAs焦平面;優(yōu)化了平面型延伸波長(zhǎng)InGaAs探測(cè)器的擴(kuò)散工藝參數(shù),并進(jìn)行了不同P/A測(cè)試結(jié)構(gòu)器件驗(yàn)證,利用激光誘導(dǎo)電流譜（LBIC）獲得了延伸波長(zhǎng)探測(cè)器材料的少子擴(kuò)散長(zhǎng)度,并分析了平面型延伸波長(zhǎng)InGaAs探測(cè)器的暗電流機(jī)制。研究了晶格匹配平面型InGaAs探測(cè)器電極接觸及溫度特性,在480?C、30s退火條件下,Au與p⁺-InP室溫下的比接觸電... 

【文章來(lái)源】：中國(guó)科學(xué)院大學(xué)(中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所)上海市

【文章頁(yè)數(shù)】：141 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：博士

【圖文】：

1海平面大氣對(duì)紅外光的透射

圖 1.2.1 夜空光譜輻射亮度曲線(xiàn)Fig.1.2.1 The curve of radiance spectrum in night sky圖 1.2.2 可見(jiàn)相機(jī)與短波相機(jī)的對(duì)比照arison of pictures taken with a visible camera and a SWIR catime應(yīng)用于短波紅外探測(cè)的晶體材料主要集中在 II-VI II-VI 族的 HgCdTe、PbS 和 PbSe 等；III-V 族的 I 1.2.3 給出了不同紅外材料的探測(cè)特性[20]，對(duì)于窄

與可見(jiàn)光和熱帶譜相比，短波紅外成像具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，如，它基本上是由寬帶反射光源形成圖像，很容易為觀(guān)察者理光相機(jī)光窗、透鏡和膜層的材料大部分可以應(yīng)用于短波紅外見(jiàn)光能夠更好地透過(guò)霧霾進(jìn)行觀(guān)察，如圖 1.2.2 所示[19]。因此成像在空間遙感、醫(yī)學(xué)、工業(yè)及軍事領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前圖 1.2.1 夜空光譜輻射亮度曲線(xiàn)Fig.1.2.1 The curve of radiance spectrum in night sky

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]退火對(duì)Zn擴(kuò)散的影響及其在InGaAs探測(cè)器中的應(yīng)用[J]. 鄧洪海,魏鵬,朱耀明,李淘,夏輝,邵秀梅,李雪,繆國(guó)慶,張永剛,龔海梅.  紅外與激光工程. 2012(02)
[2]基于N-on-P結(jié)構(gòu)的背照射延伸波長(zhǎng)640×1線(xiàn)列InGaAs探測(cè)器[J]. 朱耀明,李永富,李雪,唐恒敬,邵秀梅,陳郁,鄧洪海,魏鵬,張永剛,龔海梅.  紅外與毫米波學(xué)報(bào). 2012(01)
[3]臺(tái)面型InP/InGaAs PIN光伏探測(cè)器的p-InP低阻歐姆接觸[J]. 魏鵬,朱耀明,鄧洪海,唐恒敬,李雪,張永剛,龔海梅.  紅外與激光工程. 2011(12)
[4]平面型24元InGaAs短波紅外探測(cè)器[J]. 邵秀梅,李淘,鄧洪海,程吉鳳,陳郁,唐恒敬,李雪.  紅外技術(shù). 2011(09)
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[6]InGaAs探測(cè)器制備的ICP刻蝕方法研究[J]. 寧錦華,唐恒敬,張可鋒,李淘,李永富,李雪,龔海梅.  激光與紅外. 2009(04)
[7]LBIC技術(shù)研究InGaAs線(xiàn)列探測(cè)器串音及光敏感區(qū)[J]. 呂衍秋,喬輝,韓冰,唐恒敬,吳小利,李雪,龔海梅.  紅外與激光工程. 2007(05)
[8]不同結(jié)構(gòu)的碲鎘汞長(zhǎng)波光伏探測(cè)器的暗電流研究[J]. 葉振華,胡曉寧,張海燕,廖清君,李言謹(jǐn),何力.  紅外與毫米波學(xué)報(bào). 2004(02)
[9]InP/InGaAs（P）材料中的低溫開(kāi)管Zn擴(kuò)散[J]. 李維旦,潘慧珍.  電子科學(xué)學(xué)刊. 1987(06)

博士論文
[1]可見(jiàn)拓展的短波紅外InGaAs探測(cè)器研究[D]. 楊波.中國(guó)科學(xué)院研究生院（上海技術(shù)物理研究所） 2014



本文編號(hào)：3388095