熱式和浮子流量傳感器關(guān)鍵技術(shù)研究
【學(xué)位授予單位】:天津大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:博士
【學(xué)位授予年份】:2016
【分類號(hào)】:TP212
【圖文】:
托馬斯流量傳感器原理
溫差和流量的關(guān)系
圖 1-3 浸入式熱式氣體質(zhì)量流量傳感器隨著片上系統(tǒng)(SOC)技術(shù)和微細(xì)加工(MEM用,熱膜式氣體質(zhì)量流量傳感器得到迅速發(fā)展都是在微小的陶瓷基片上沉積金屬鉑形成的鉑
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本文編號(hào):2770892
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