本文選題：飛行時間二次離子質(zhì)譜儀　切入點：光學(xué)成像系統(tǒng)　出處：《吉林大學(xué)》2016年博士論文　論文類型：學(xué)位論文

【摘要】：飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(Time of Flight-Secondary Ion Mass Spectrometer,TOF-SIMS)是一種無需對樣品進(jìn)行化學(xué)處理和近于無損傷的分析儀器。TOF-SIMS光學(xué)成像系統(tǒng)用于觀察測試樣品的實時圖像,分析測試點的位置及一次離子束斑的直徑、強(qiáng)度等信息,是TOF-SIMS儀器的重要組成部分,激光后電離技術(shù)是在SIMS基礎(chǔ)上發(fā)展起來的用于提高儀器靈敏度的關(guān)鍵技術(shù)。本文完成的研究內(nèi)容如下:研制出一種基于改進(jìn)型Schwarzschild結(jié)構(gòu)為核心的光學(xué)成像系統(tǒng),并應(yīng)用于自主研制的TOF-SIMS儀器上測試及使用,實現(xiàn)了樣品圖像的實時觀測。提出一種具有自動消除噪聲功能的鋯石樣品圖像自動聚焦算法,提高了現(xiàn)代SIMS儀器自動聚焦系統(tǒng)的聚焦準(zhǔn)確率。提出一種二次中性粒子后電離方法,采用飛秒激光電離TOF-SIMS儀器的二次中性粒子,提高了TOF-SIMS儀器的靈敏度。
[Abstract]:Time of Flight-Secondary Ion Mass Spectrometer (TOF-SIMS) is an analytical instrument that does not require chemical treatment and near no damage to samples. The TOF-Sims optical imaging system is used to observe the real time images of test samples. It is an important part of the TOF-SIMS instrument to analyze the location of the test point and the information of the diameter and intensity of the primary ion beam spot. Laser post-ionization technology is a key technology developed on the basis of SIMS to improve the sensitivity of the instrument. The research contents of this paper are as follows: a kind of optical imaging system based on the improved Schwarzschild structure is developed. It is applied to the test and application of the TOF-SIMS instrument, and the real-time observation of the sample image is realized. An automatic focusing algorithm for the zircon image is proposed, which has the function of eliminating the noise automatically. In this paper, the focusing accuracy of automatic focusing system of modern SIMS instrument is improved, and a method of post-ionization of secondary neutral particles is proposed. The second neutral particle of TOF-SIMS instrument is ionized by femtosecond laser, and the sensitivity of TOF-SIMS instrument is improved.
【學(xué)位授予單位】：吉林大學(xué)
【學(xué)位級別】：博士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TP391.41

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本文編號：1652593