金屬及半導(dǎo)體的旋轉(zhuǎn)偏析定向凝固法提純工藝研究
發(fā)布時(shí)間:2022-01-05 16:15
目前,中國(guó)鋁生產(chǎn)行業(yè)一般采用的是三層液化學(xué)電解精煉法、區(qū)域熔煉物理提純法、定向凝固物理提純法,但是三層法存在著耗電量大、機(jī)械化水平低等缺點(diǎn);區(qū)域熔煉物理提純法和定向凝固提純工藝因產(chǎn)量低、成本高、難以形成規(guī)模。而對(duì)于半導(dǎo)體硅生產(chǎn)行業(yè)而言,其生產(chǎn)方法則為西門(mén)子法和定向凝固法等,從環(huán)境角度、生產(chǎn)成本、生產(chǎn)規(guī)模考慮,兩種生產(chǎn)方法也已經(jīng)不能滿足市場(chǎng)需求。因此,一種經(jīng)濟(jì)、高效率、無(wú)工業(yè)污染、能夠工業(yè)規(guī);a(chǎn)的方法迫在需求。本試驗(yàn)利用自制的旋轉(zhuǎn)偏析裝置對(duì)鋁進(jìn)行大量試驗(yàn),研究旋轉(zhuǎn)偏析法提純?cè)、摸索出單次提純工藝流程、確定鋁晶體生長(zhǎng)方式、得出該套裝置的提純效果、給出相對(duì)本套裝置鋁中硅、鐵等雜質(zhì)相應(yīng)的有效分凝系數(shù),并通過(guò)對(duì)試驗(yàn)遇到的問(wèn)題和凈化物測(cè)試結(jié)果分析,對(duì)儀器結(jié)構(gòu)進(jìn)一步完善提出合理意見(jiàn),同時(shí)根據(jù)鋁的生產(chǎn)要求特性,也大膽猜測(cè)對(duì)于鋁、硅連續(xù)生產(chǎn)工藝的可能性,并猜想一種可連續(xù)生產(chǎn)的工藝方法。結(jié)論表明:自制的旋轉(zhuǎn)偏析儀在一定程度上可以降低共晶雜質(zhì)的有效分凝系數(shù)并且隨著轉(zhuǎn)速的提高,提純效果越明顯。凈化鋁晶體其生長(zhǎng)過(guò)程是同時(shí)的沿半徑方向由內(nèi)向外生長(zhǎng)的,沿半徑方向整個(gè)過(guò)程等同于定向凝固過(guò)程,共晶雜質(zhì)由內(nèi)向外排放...
【文章來(lái)源】:大連工業(yè)大學(xué)遼寧省
【文章頁(yè)數(shù)】:61 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
圖1-7典型的真空感應(yīng)熔煉爐的平面結(jié)構(gòu)示意圖??Fig.?1-7?Sketch?of?vacuum-induction?melting?furnace??
?第一章緒論???我國(guó)多晶硅企業(yè)普遍采用的是西門(mén)子工業(yè)法,但其關(guān)于該方法的尾氣回收系統(tǒng)仍??然沒(méi)有掌握,尾氣不能回收則嚴(yán)重破壞環(huán)境。物理法中冶金提煉雖然技術(shù)有難度、設(shè)??備復(fù)雜,但其最大特點(diǎn)是投資少、成本低、操作簡(jiǎn)便更重要的是環(huán)境友好,因此,近??年來(lái)也受到我國(guó)各人企業(yè)、高校的廣泛關(guān)注。相信不久的將來(lái),工業(yè)硅的物理法提純??技術(shù)是最有可能實(shí)現(xiàn)大規(guī)模太陽(yáng)能級(jí)多晶硅生產(chǎn)并同時(shí)滿足工業(yè)化工業(yè)技術(shù)的需求。??1.3我國(guó)近年各高校企業(yè)聯(lián)合偏析技術(shù)進(jìn)展??近年來(lái)各高校關(guān)于硅、鋁的偏析提純技術(shù)的研究廣為關(guān)注,其中鋁的偏析凈化技??術(shù)以上海交通大學(xué)張佼、孫寶德教授最具代表性,而硅的定向凝固技術(shù)以大連理工譚??毅、李廷舉教授以及昆明理工的馬文會(huì)等人為代表。??1.3.1高純鋁真空凈化裝置??上海交通大學(xué)張佼、孫寶德教授和中國(guó)鋁業(yè)貴州分公司電解鋁廠合作,聯(lián)合發(fā)明??2套高純鋁真空凈化裝置【56’57],其中2003年的凈化裝置,鋁的提純度可以達(dá)到5N級(jí)??別。該裝置如圖丨-9所示。??坩渦^?^?-感應(yīng)線圈??保獻(xiàn):—?卽]:[]〇?y您館體??絕熱制.?:e廠r?-?感細(xì)b??冷卻器?、、:錢??結(jié)晶臺(tái)??^?:zzzl〇f^??;?V?■哀空爐寬??F引躲諏?^??i動(dòng)電動(dòng)機(jī)、\??圖1-9新型高純鋁提純裝備結(jié)構(gòu)圖??Fig.?1-9?The?chart?of?the?high?purity?aluminum?purification?equipment??13??
i???第二章?實(shí)驗(yàn)原理及實(shí)驗(yàn)儀器、測(cè)試方法???第二章實(shí)驗(yàn)原理及實(shí)驗(yàn)儀器、測(cè)試方法??2.1實(shí)驗(yàn)原理??2.1.1中頻感應(yīng)加熱原理??中頻感應(yīng)加熱主要原理包括電流熱效應(yīng)的焦耳愣次定律與法拉第電磁感應(yīng)定律??[70】。當(dāng)交流電由于通過(guò)卷曲環(huán)狀的導(dǎo)體(一般是銅線圈)而產(chǎn)生磁束,金屬身入其中??相應(yīng)的磁朿同時(shí)會(huì)貫通金屬本體,在和磁束自繳的方向而相對(duì)應(yīng)的生成旋轉(zhuǎn)電流(渦??電流),金屬本身具有電阻,其電阻效應(yīng)使一部分電能消耗而產(chǎn)生熱能,工業(yè)上就是應(yīng)??用這種熱效應(yīng)而制成中頻感應(yīng)爐并用來(lái)冶煉金屬[71]。圖2-1為加熱模型示意圖,中頻??感應(yīng)加熱自身的優(yōu)點(diǎn)包括:較高加熱效率、較快的速度以及有利于完成機(jī)械化與自動(dòng)??化等。??,?4?n?r?1-電源2-電容器??\??2?3、Y?3-密封室4-坩堝??一^\?5-金屬材料卜悉應(yīng)??線圈??圖2-1加熱基本模型1721??Fig.2-1?The?basic?model?of?inductive?melting??2.?1.2旋轉(zhuǎn)偏析過(guò)程中雜質(zhì)分凝??旋轉(zhuǎn)偏析過(guò)程中雜質(zhì)分凝原理與第一章屮提到的偏析法定向凝固的提純?cè)砘??相同。在整個(gè)定向凝固提純過(guò)程中,提純的固相雜質(zhì)元素濃度推導(dǎo)公式為[73’74]:設(shè)初??17??
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]新型結(jié)構(gòu)鋁電解槽一步生產(chǎn)含鋁量大于3N的純鋁研究[J]. 黨建平. 輕金屬. 2013(01)
[2]多晶硅制備技術(shù)及其研究進(jìn)展[J]. 張攀,陳光輝,李建隆,姜暉瓊. 材料導(dǎo)報(bào). 2012(21)
[3]綜述原鋁精煉提純工藝技術(shù)[J]. 蘭文蘭. 輕金屬. 2012(06)
[4]我國(guó)精鋁的生產(chǎn)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)[J]. 寧建文,王皓. 輕金屬. 2012(01)
[5]淺析電解鋁與高純鋁[J]. 王成軍. 新疆有色金屬. 2011(S2)
[6]ICP-AES的工作原理與維護(hù)保養(yǎng)[J]. 王海燕. 電子產(chǎn)品可靠性與環(huán)境試驗(yàn). 2010(04)
[7]太陽(yáng)能級(jí)多晶硅生產(chǎn)工藝[J]. 侯彥青,謝剛,陶東平,俞小花,田林,楊妮. 材料導(dǎo)報(bào). 2010(13)
[8]鎧裝熱電偶在化工中常見(jiàn)故障及處理[J]. 王旭. 化工設(shè)計(jì)通訊. 2010(02)
[9]區(qū)域熔煉制備高純金屬的綜述[J]. 李文良,羅遠(yuǎn)輝. 礦冶. 2010(02)
[10]感應(yīng)加熱中頻電源原理及檢修[J]. 武周. 真空. 2010(03)
博士論文
[1]冶金提純法制備太陽(yáng)能級(jí)多晶硅研究[D]. 張劍.大連理工大學(xué) 2009
[2]凝固偏析勻化數(shù)模及動(dòng)力學(xué)控制論[D]. 張丁非.重慶大學(xué) 1997
碩士論文
[1]冶金法提純工業(yè)硅的研究[D]. 劉德華.大連理工大學(xué) 2010
[2]工業(yè)硅定向凝固提純研究[D]. 張慧星.大連理工大學(xué) 2009
[3]冶金級(jí)硅直接制備太陽(yáng)能級(jí)硅預(yù)處理實(shí)驗(yàn)研究[D]. 于站良.昆明理工大學(xué) 2007
[4]北京京儀集團(tuán)太陽(yáng)能電池硅材料制備設(shè)備產(chǎn)品發(fā)展戰(zhàn)略研究[D]. 高斌.對(duì)外經(jīng)濟(jì)貿(mào)易大學(xué) 2007
[5]太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的冶金制備研究[D]. 吳亞萍.大連理工大學(xué) 2006
本文編號(hào):3570667
【文章來(lái)源】:大連工業(yè)大學(xué)遼寧省
【文章頁(yè)數(shù)】:61 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
圖1-7典型的真空感應(yīng)熔煉爐的平面結(jié)構(gòu)示意圖??Fig.?1-7?Sketch?of?vacuum-induction?melting?furnace??
?第一章緒論???我國(guó)多晶硅企業(yè)普遍采用的是西門(mén)子工業(yè)法,但其關(guān)于該方法的尾氣回收系統(tǒng)仍??然沒(méi)有掌握,尾氣不能回收則嚴(yán)重破壞環(huán)境。物理法中冶金提煉雖然技術(shù)有難度、設(shè)??備復(fù)雜,但其最大特點(diǎn)是投資少、成本低、操作簡(jiǎn)便更重要的是環(huán)境友好,因此,近??年來(lái)也受到我國(guó)各人企業(yè)、高校的廣泛關(guān)注。相信不久的將來(lái),工業(yè)硅的物理法提純??技術(shù)是最有可能實(shí)現(xiàn)大規(guī)模太陽(yáng)能級(jí)多晶硅生產(chǎn)并同時(shí)滿足工業(yè)化工業(yè)技術(shù)的需求。??1.3我國(guó)近年各高校企業(yè)聯(lián)合偏析技術(shù)進(jìn)展??近年來(lái)各高校關(guān)于硅、鋁的偏析提純技術(shù)的研究廣為關(guān)注,其中鋁的偏析凈化技??術(shù)以上海交通大學(xué)張佼、孫寶德教授最具代表性,而硅的定向凝固技術(shù)以大連理工譚??毅、李廷舉教授以及昆明理工的馬文會(huì)等人為代表。??1.3.1高純鋁真空凈化裝置??上海交通大學(xué)張佼、孫寶德教授和中國(guó)鋁業(yè)貴州分公司電解鋁廠合作,聯(lián)合發(fā)明??2套高純鋁真空凈化裝置【56’57],其中2003年的凈化裝置,鋁的提純度可以達(dá)到5N級(jí)??別。該裝置如圖丨-9所示。??坩渦^?^?-感應(yīng)線圈??保獻(xiàn):—?卽]:[]〇?y您館體??絕熱制.?:e廠r?-?感細(xì)b??冷卻器?、、:錢??結(jié)晶臺(tái)??^?:zzzl〇f^??;?V?■哀空爐寬??F引躲諏?^??i動(dòng)電動(dòng)機(jī)、\??圖1-9新型高純鋁提純裝備結(jié)構(gòu)圖??Fig.?1-9?The?chart?of?the?high?purity?aluminum?purification?equipment??13??
i???第二章?實(shí)驗(yàn)原理及實(shí)驗(yàn)儀器、測(cè)試方法???第二章實(shí)驗(yàn)原理及實(shí)驗(yàn)儀器、測(cè)試方法??2.1實(shí)驗(yàn)原理??2.1.1中頻感應(yīng)加熱原理??中頻感應(yīng)加熱主要原理包括電流熱效應(yīng)的焦耳愣次定律與法拉第電磁感應(yīng)定律??[70】。當(dāng)交流電由于通過(guò)卷曲環(huán)狀的導(dǎo)體(一般是銅線圈)而產(chǎn)生磁束,金屬身入其中??相應(yīng)的磁朿同時(shí)會(huì)貫通金屬本體,在和磁束自繳的方向而相對(duì)應(yīng)的生成旋轉(zhuǎn)電流(渦??電流),金屬本身具有電阻,其電阻效應(yīng)使一部分電能消耗而產(chǎn)生熱能,工業(yè)上就是應(yīng)??用這種熱效應(yīng)而制成中頻感應(yīng)爐并用來(lái)冶煉金屬[71]。圖2-1為加熱模型示意圖,中頻??感應(yīng)加熱自身的優(yōu)點(diǎn)包括:較高加熱效率、較快的速度以及有利于完成機(jī)械化與自動(dòng)??化等。??,?4?n?r?1-電源2-電容器??\??2?3、Y?3-密封室4-坩堝??一^\?5-金屬材料卜悉應(yīng)??線圈??圖2-1加熱基本模型1721??Fig.2-1?The?basic?model?of?inductive?melting??2.?1.2旋轉(zhuǎn)偏析過(guò)程中雜質(zhì)分凝??旋轉(zhuǎn)偏析過(guò)程中雜質(zhì)分凝原理與第一章屮提到的偏析法定向凝固的提純?cè)砘??相同。在整個(gè)定向凝固提純過(guò)程中,提純的固相雜質(zhì)元素濃度推導(dǎo)公式為[73’74]:設(shè)初??17??
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]新型結(jié)構(gòu)鋁電解槽一步生產(chǎn)含鋁量大于3N的純鋁研究[J]. 黨建平. 輕金屬. 2013(01)
[2]多晶硅制備技術(shù)及其研究進(jìn)展[J]. 張攀,陳光輝,李建隆,姜暉瓊. 材料導(dǎo)報(bào). 2012(21)
[3]綜述原鋁精煉提純工藝技術(shù)[J]. 蘭文蘭. 輕金屬. 2012(06)
[4]我國(guó)精鋁的生產(chǎn)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)[J]. 寧建文,王皓. 輕金屬. 2012(01)
[5]淺析電解鋁與高純鋁[J]. 王成軍. 新疆有色金屬. 2011(S2)
[6]ICP-AES的工作原理與維護(hù)保養(yǎng)[J]. 王海燕. 電子產(chǎn)品可靠性與環(huán)境試驗(yàn). 2010(04)
[7]太陽(yáng)能級(jí)多晶硅生產(chǎn)工藝[J]. 侯彥青,謝剛,陶東平,俞小花,田林,楊妮. 材料導(dǎo)報(bào). 2010(13)
[8]鎧裝熱電偶在化工中常見(jiàn)故障及處理[J]. 王旭. 化工設(shè)計(jì)通訊. 2010(02)
[9]區(qū)域熔煉制備高純金屬的綜述[J]. 李文良,羅遠(yuǎn)輝. 礦冶. 2010(02)
[10]感應(yīng)加熱中頻電源原理及檢修[J]. 武周. 真空. 2010(03)
博士論文
[1]冶金提純法制備太陽(yáng)能級(jí)多晶硅研究[D]. 張劍.大連理工大學(xué) 2009
[2]凝固偏析勻化數(shù)模及動(dòng)力學(xué)控制論[D]. 張丁非.重慶大學(xué) 1997
碩士論文
[1]冶金法提純工業(yè)硅的研究[D]. 劉德華.大連理工大學(xué) 2010
[2]工業(yè)硅定向凝固提純研究[D]. 張慧星.大連理工大學(xué) 2009
[3]冶金級(jí)硅直接制備太陽(yáng)能級(jí)硅預(yù)處理實(shí)驗(yàn)研究[D]. 于站良.昆明理工大學(xué) 2007
[4]北京京儀集團(tuán)太陽(yáng)能電池硅材料制備設(shè)備產(chǎn)品發(fā)展戰(zhàn)略研究[D]. 高斌.對(duì)外經(jīng)濟(jì)貿(mào)易大學(xué) 2007
[5]太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的冶金制備研究[D]. 吳亞萍.大連理工大學(xué) 2006
本文編號(hào):3570667
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