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稀散金屬鎵高純化制備的工藝研究

發(fā)布時(shí)間:2020-07-22 06:53
【摘要】:繼硅半導(dǎo)體材料之后,第二代砷化鎵和第三代氮化鎵半導(dǎo)體材料得到了廣泛的應(yīng)用,世界市場(chǎng)對(duì)金屬鎵的需求量迅速增長(zhǎng)。國(guó)內(nèi)外為滿足GaAs、GaP、GaN等半導(dǎo)體材料的需求對(duì)金屬鎵的制備做了大量的研究。由于部分結(jié)晶法具有生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)單,生產(chǎn)過(guò)程能耗低,操作簡(jiǎn)單,生產(chǎn)周期短等優(yōu)勢(shì),本課題選用部分結(jié)晶法制備高純鎵。根據(jù)金屬鎵的性質(zhì)及結(jié)晶法提純的原理,選擇部分結(jié)晶法對(duì)粗鎵(99.99%)進(jìn)行提純實(shí)驗(yàn)。設(shè)計(jì)了合理的結(jié)晶法提純流程,考察了不同冷卻水流量、冷卻水溫度對(duì)降溫速率、結(jié)晶速率和晶體生長(zhǎng)狀況的影響,確定了最佳的實(shí)驗(yàn)工藝參數(shù)。在經(jīng)過(guò)多次結(jié)晶提純后成功制備符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T 10118-2009)要求的6N(99.9999%)高純鎵和7N(99.99999%)高純稼樣品。取得了如下結(jié)果:(1)當(dāng)冷卻水流量Q60 L/h時(shí),結(jié)晶速率隨著冷卻水流量的增加不斷增大,當(dāng)流量Q≥ 60 L/h時(shí),結(jié)晶速率不再隨流量的變化發(fā)生變化。通過(guò)擬合分析,得到結(jié)晶速率V隨冷卻水流量Q變化的關(guān)系式為V = 9.94-2.86-Q/e7682,冷卻水流量控制在40~60 L/h時(shí),晶體均勻生長(zhǎng)。(2)結(jié)晶速率隨著冷卻水溫度的升高不斷減小,冷卻水溫度T控制在18~20℃時(shí),晶體生長(zhǎng)均勻,晶粒大小較為一致,結(jié)晶速率隨冷卻水溫度變化的函數(shù)關(guān)系式為:V =-68.56 +111.54-T/e55.87。(3)冷卻水溫度為20℃時(shí),液態(tài)金屬鎵降溫速率Vc隨冷卻水流量Q變化的關(guān)系為:Vc = 2.36-0.27/1+e Q-48.02/1.25,冷卻水流量為60L/h時(shí),液態(tài)金屬鎵降溫速率隨冷卻水溫度變化的關(guān)系式為:Vc=55.48T-1.05。(4)當(dāng)冷卻水流量、外接晶種數(shù)量、凝固率一定時(shí),冷卻水溫度為20℃比18℃的提純效果好。(5)當(dāng)冷卻水流量、冷卻水溫度、凝固率一定時(shí),外接晶種數(shù)量為6個(gè)比4個(gè)的提純效果好。(6)實(shí)驗(yàn)得到最佳的結(jié)晶工藝參數(shù)為:冷卻水流量為60 L/h、冷卻水溫度為20℃、外接晶種數(shù)量為6個(gè)、凝固率為90%。在最佳結(jié)晶工藝參數(shù)條件下進(jìn)行結(jié)晶提純實(shí)驗(yàn),結(jié)果表明,7次重結(jié)晶的樣品純度可到達(dá)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)6N高純鎵標(biāo)準(zhǔn),金屬鎵的收得率為46.55%;8次重結(jié)晶的樣品純度可達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)7N高純鎵標(biāo)準(zhǔn),金屬鎵的收得率為42.08%。
【學(xué)位授予單位】:東北大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2016
【分類號(hào)】:TF843.1

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本文編號(hào):2765469

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