作為光學(xué)系統(tǒng)中重要的組成部分之一,熔石英光學(xué)元件對于光路系統(tǒng)的正常使用具有至關(guān)重要的作用。熔石英材料在加工成為光學(xué)元件的過程中,會受到加工工具的影響,在其表面留下不同參數(shù)的納結(jié)構(gòu)。這些結(jié)構(gòu)的存在,使得環(huán)境中的雜質(zhì)分子極易吸附于其中,難以清洗。在高真空、強(qiáng)輻射的極端工作環(huán)境中,存在雜質(zhì)的區(qū)域溫度會急劇升高,以致表面產(chǎn)生局部爆裂性損傷,這使光學(xué)系統(tǒng)的工作效率下降,壽命降低,成本升高。故對熔石英材料加工后的表面污染物的吸附特性及其機(jī)理的研究是十分必要的。首先,本文對分子動力學(xué)仿真中系綜的選擇和勢函數(shù)的選取進(jìn)行了闡述,闡明了熔石英材料加工的建模過程,并對比本文仿真結(jié)果與文獻(xiàn)結(jié)果,誤差在合理范圍內(nèi),在一定程度上確認(rèn)了本文仿真結(jié)果的可靠性。從切削力和能量、原子運(yùn)動、表面形成和切屑形成機(jī)理幾個方面介紹納米切削的特點(diǎn),并對比分析了傳統(tǒng)加工與納米加工的區(qū)別。其次,通過分子動力學(xué)軟件建立了納米切削模型,研究了納米切削機(jī)理。發(fā)現(xiàn)在納米切削后,原子聚集態(tài)的變化是加工參數(shù)對加工過程產(chǎn)生影響的本質(zhì)原因。分析的參數(shù)為刀具形狀、加工速度、加工深度和基底固定方式。借助Delphi軟件計(jì)算出加工過程中系統(tǒng)的溫度分布云圖后...

【文章頁數(shù)】：96 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖1-1激光照射下石英玻璃亞表面微裂紋誘發(fā)的激光損傷

哈爾濱工業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文件也是激光核聚變光路系統(tǒng)中較為危險的環(huán)節(jié)，極容易產(chǎn)生各種問題[2,3]。光學(xué)元件的維修成本較高，使之成為亟待解決的問題。在熔石英光學(xué)元件的制造過程中，受到制造工藝、加工介質(zhì)（如切削液、拋光液等）與清洗介質(zhì)（清洗液）等的影響，污染物會滲入到元件內(nèi)部，造....

圖1-2使用KrF激光對熔石英進(jìn)行LIBWE的示意圖

哈爾濱工業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文imura等人使用激光等離子體軟X射線對二氧化硅玻玻璃板上構(gòu)造間隔為53nm和70nm的線和空間結(jié)構(gòu)為10nm左右的LPSXs照射獲得寬高比為1，最窄處教授提出了可使用大氣等離子體對熔石英材料進(jìn)行加種特種加工方法，具有不與材料....

圖1-3不同速度下的皮秒加工熔石英的痕跡

[14]。圖1-2使用KrF激光對熔石英進(jìn)行LIBWE的示意人對8ps激光脈沖和600fs激光脈沖加工熔石發(fā)現(xiàn)，皮秒激光加工由于在應(yīng)力區(qū)域可能產(chǎn)于熔石英光學(xué)元件的批量生產(chǎn)。此外，其也料造成的影響進(jìn)行了分析[15]。S.Karimelahi重復(fù)率皮秒激光在熔石....

圖1-4表面不同納結(jié)構(gòu)參數(shù)下水滴的接觸角

最早對潤濕性進(jìn)行研究的是R.Wenzel，他對固體表面的潤濕性進(jìn)行了啟發(fā)研究，明確提出固體表面潤濕性與表面粗糙度緊密相關(guān)，并且通過實(shí)驗(yàn)證明性的變化往往與表面污染物的存在息息相關(guān)，并提出接觸角測量的優(yōu)點(diǎn)，即面機(jī)械特性及不均勻性無關(guān)[19]。A.Cassie和S.Baxt....

本文編號：3974929