在慣性約束核聚變(ICF)系統(tǒng)中的大口徑平面光學(xué)組件,具有需求量大、生產(chǎn)成本高、口徑大、面形要求高等特點(diǎn)。目前針對(duì)大口徑平面光學(xué)組件面形檢測(cè)的手段主要有干涉儀、瑞奇-康芒檢測(cè)法以及子孔徑拼接法等。由于這些方法中的設(shè)備往往較為龐大,完成大口徑平面光學(xué)組件傾斜姿態(tài)面形檢測(cè)的成本較高。角差法通過(guò)順序測(cè)量相鄰兩點(diǎn)間的法線夾角進(jìn)而積分計(jì)算組件面形,可以使測(cè)量設(shè)備極大簡(jiǎn)化,從而完成大口徑平面光學(xué)組件傾斜姿態(tài)面形檢測(cè)。本文針對(duì)基于角差法的大口徑平面光學(xué)組件面形檢測(cè)系統(tǒng),通過(guò)算法分析與模擬仿真推導(dǎo)出系統(tǒng)測(cè)角誤差容忍度并由此計(jì)算出激光光斑質(zhì)心定位精度要求,進(jìn)而設(shè)計(jì)完成滿(mǎn)足工程要求的激光光斑質(zhì)心定位算法,最后對(duì)系統(tǒng)中的軟件系統(tǒng)進(jìn)行了設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)。本文主要工作如下:1、分析了角差法面形重構(gòu)原理,推導(dǎo)出系統(tǒng)的測(cè)角誤差容忍度,并計(jì)算出激光光斑質(zhì)心定位精度要求。通過(guò)分析角差法面形重構(gòu)原理,得出了角差法中測(cè)角誤差傳遞特征;通過(guò)對(duì)測(cè)角誤差傳遞過(guò)程的模擬仿真推導(dǎo)出測(cè)量432mm×432mm口徑組件精度達(dá)到λ/3(λ=632nm)需使測(cè)角誤差??0.06″,根據(jù)測(cè)角原理與系統(tǒng)參數(shù)計(jì)算得光斑質(zhì)心定位精度要求為0.2像素。2、...

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【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖1-1大口徑干涉儀法原理示意圖

西南科技大學(xué)碩士研究生學(xué)位論文學(xué)組件面形檢測(cè)常用方法徑平面光學(xué)組件面形檢測(cè)的方法以法為主，其它包括傅科-刀口法和是最先應(yīng)用于光學(xué)組件面形檢測(cè)中檢測(cè)光束經(jīng)被測(cè)組件表面反射后的紋特征計(jì)算出被測(cè)組件的面形。其

圖1-2Twyman‐Green干涉儀基本結(jié)構(gòu)

圖1-1大口徑干涉儀法原理示意圖-1Theprinciplediagramoflargeaperture驗(yàn)以太是否存在的相關(guān)實(shí)驗(yàn)中著20世紀(jì)60年代時(shí)激光器的在眾多干涉儀中，Twyman‐G干涉儀是通過(guò)對(duì)入射光分振幅形1-2所示。

圖1-3Fizeau干涉儀基本結(jié)構(gòu)

西南科技大學(xué)碩士研究生學(xué)位論文圖1-2中，元件1~7分別表示點(diǎn)光源、準(zhǔn)直透鏡、分光板、參、被測(cè)表面以及干涉觀察區(qū)域。在Twyman‐Green干涉儀中成了光束的等分，而后再利用補(bǔ)償板和分光板使得經(jīng)被測(cè)表射的光束在干涉觀察區(qū)域形成條紋。于Twyman‐Green干....

圖1-4ZYGO公司生產(chǎn)的大口徑干涉儀Figure1-4ThelargeapertureinterferometerofZYGO

圖1-4ZYGO公司生產(chǎn)的大口徑干涉儀Figure1-4ThelargeapertureinterferometerofZYGOZYGO干涉儀的測(cè)量口徑略小，但同樣于1999年寸索菲型干涉儀也受到人們的高度認(rèn)可。目前已有度PV可達(dá)0.1λ，重復(fù)性可....

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