在慣性約束核聚變(ICF)系統(tǒng)中的大口徑平面光學組件,具有需求量大、生產(chǎn)成本高、口徑大、面形要求高等特點。目前針對大口徑平面光學組件面形檢測的手段主要有干涉儀、瑞奇-康芒檢測法以及子孔徑拼接法等。由于這些方法中的設(shè)備往往較為龐大,完成大口徑平面光學組件傾斜姿態(tài)面形檢測的成本較高。角差法通過順序測量相鄰兩點間的法線夾角進而積分計算組件面形,可以使測量設(shè)備極大簡化,從而完成大口徑平面光學組件傾斜姿態(tài)面形檢測。本文針對基于角差法的大口徑平面光學組件面形檢測系統(tǒng),通過算法分析與模擬仿真推導出系統(tǒng)測角誤差容忍度并由此計算出激光光斑質(zhì)心定位精度要求,進而設(shè)計完成滿足工程要求的激光光斑質(zhì)心定位算法,最后對系統(tǒng)中的軟件系統(tǒng)進行了設(shè)計與實現(xiàn)。本文主要工作如下:1、分析了角差法面形重構(gòu)原理,推導出系統(tǒng)的測角誤差容忍度,并計算出激光光斑質(zhì)心定位精度要求。通過分析角差法面形重構(gòu)原理,得出了角差法中測角誤差傳遞特征;通過對測角誤差傳遞過程的模擬仿真推導出測量432mm×432mm口徑組件精度達到λ/3(λ=632nm)需使測角誤差??0.06″,根據(jù)測角原理與系統(tǒng)參數(shù)計算得光斑質(zhì)心定位精度要求為0.2像素。2、...

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【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖1-1大口徑干涉儀法原理示意圖

西南科技大學碩士研究生學位論文學組件面形檢測常用方法徑平面光學組件面形檢測的方法以法為主，其它包括傅科-刀口法和是最先應(yīng)用于光學組件面形檢測中檢測光束經(jīng)被測組件表面反射后的紋特征計算出被測組件的面形。其

圖1-2Twyman‐Green干涉儀基本結(jié)構(gòu)

圖1-1大口徑干涉儀法原理示意圖-1Theprinciplediagramoflargeaperture驗以太是否存在的相關(guān)實驗中著20世紀60年代時激光器的在眾多干涉儀中，Twyman‐G干涉儀是通過對入射光分振幅形1-2所示。

圖1-3Fizeau干涉儀基本結(jié)構(gòu)

西南科技大學碩士研究生學位論文圖1-2中，元件1~7分別表示點光源、準直透鏡、分光板、參、被測表面以及干涉觀察區(qū)域。在Twyman‐Green干涉儀中成了光束的等分，而后再利用補償板和分光板使得經(jīng)被測表射的光束在干涉觀察區(qū)域形成條紋。于Twyman‐Green干....

圖1-4ZYGO公司生產(chǎn)的大口徑干涉儀Figure1-4ThelargeapertureinterferometerofZYGO

圖1-4ZYGO公司生產(chǎn)的大口徑干涉儀Figure1-4ThelargeapertureinterferometerofZYGOZYGO干涉儀的測量口徑略小，但同樣于1999年寸索菲型干涉儀也受到人們的高度認可。目前已有度PV可達0.1λ，重復性可....

本文編號：3903162