大功率射頻負(fù)氫離子源中的等離子體診斷與輸運過程研究
【學(xué)位授予單位】:華中科技大學(xué)
【學(xué)位級別】:博士
【學(xué)位授予年份】:2015
【分類號】:TL629.1
【相似文獻】
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,本文編號:2689672
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