本文關(guān)鍵詞：針孔對(duì)單軸法線跟蹤式測(cè)量系統(tǒng)零位測(cè)量的影響（英文）

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【摘要】：針對(duì)大曲率表面面形測(cè)量問(wèn)題,提出一種單軸法線跟蹤式測(cè)量方法。通過(guò)運(yùn)用Collins公式,研究了傾斜角度對(duì)基于高斯光束測(cè)量系統(tǒng)的影響;通過(guò)理論分析和數(shù)值模擬,證明了在待測(cè)面傾斜的情況下,高斯光束與點(diǎn)光源作用下差動(dòng)共焦系統(tǒng)的零位位置有明顯不同;推導(dǎo)出高斯光束測(cè)量系統(tǒng)中針孔最佳尺寸和實(shí)際系統(tǒng)參數(shù)的關(guān)系,指出實(shí)驗(yàn)中波長(zhǎng)為633nm測(cè)量系統(tǒng)的針孔最佳直徑在20μm到35μm之間。
【作者單位】： 天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)與儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院長(zhǎng)度計(jì)量科學(xué)與精密機(jī)械測(cè)量技術(shù)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 差動(dòng)共焦 高斯光束 Collins公式 針孔最佳尺寸
【基金】：Quantity Dissemination and Quality Safety Project of AQSIQ(No.ALC1501) National Key Scientific Instrument and Equipment Development Projects,China(No.2013YQ170539)
【分類號(hào)】：TP274
【正文快照】： 0 Introduction Confocal microscope is developing rapidly for its high axial and lateral resolution,and it is widely used in many fields such as microelectronics,semiconductor industry,biomedical engineerin[g1-3].A number of commercial products based on

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：904936