本文關(guān)鍵詞：電容傳感器線性度標定平臺

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【摘要】：設(shè)計了一種電容位移傳感器在線標定平臺,用于位移的高精度調(diào)節(jié)和檢測。該平臺的運動對稱中心軸、測量光路的對稱中心軸和傳感器的傳感軸共軸,故從測量原理上減小了阿貝誤差。標定平臺具有z/tip/tilt調(diào)節(jié)功能,保證了傳感器的傳感面和被測面板的被測面之間的裝調(diào)對準。介紹了標定平臺的組成和標定方法的原理,采用對稱平行四邊形機構(gòu)實現(xiàn)了微位移調(diào)節(jié),基于柔度矩陣法(CMM)分析了導(dǎo)向機構(gòu)的輸出柔度和行程。試驗測得動平臺行程為735.162μm,和有限元法(FEM)、CMM計算結(jié)果的誤差分別為7.410%和4.633%,滿足行程誤差要求。經(jīng)過標定補償后,傳感器的線性度由0.014 21%提高至0.006 231%。實驗結(jié)果顯示,該線性度標定方法精度高,標定后的傳感器滿足位移精密調(diào)節(jié)機構(gòu)使用要求。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應(yīng)用光學國家重點實驗室超精密光學工程研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 電容傳感器 線性度標定 標定平臺 柔度矩陣
【基金】：國家自然科學基金資助項目(No.61504142) 國家科技重大專項基金資助項目(No.2009ZX02205)
【分類號】：TP212
【正文快照】： 1引言高精度光學系統(tǒng)裝配集成時會出現(xiàn)位置誤差,為了達到理想的補償效果,需要位移精密調(diào)節(jié)機構(gòu)調(diào)節(jié)光學元件的位置[1],并應(yīng)用高精度的電容位移傳感器(簡稱傳感器)檢測調(diào)節(jié)位移量。為了減小傳感器測量誤差,一方面應(yīng)對其制造、運輸和裝調(diào)過程進行嚴格控制;另一方面可對傳感器進

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本文編號：821498