發(fā)布時(shí)間：2017-06-24 06:01

  本文關(guān)鍵詞：基于柔性電極結(jié)構(gòu)的薄膜電容微壓力傳感器，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：基于柔性電極結(jié)構(gòu),本文設(shè)計(jì)、制作了薄膜電容微壓力傳感器,在闡述傳感器工作原理的基礎(chǔ)上,提出了兩種設(shè)計(jì)思路,即基于柔性納米薄膜的電容式微壓力傳感器和具有微結(jié)構(gòu)的柔性電極薄膜電容式微壓力傳感器,并結(jié)合傳感器的結(jié)構(gòu)和柔性材料的加工特性,進(jìn)一步提出了相應(yīng)的力敏特性材料結(jié)構(gòu)優(yōu)化思路和加工流程,利用該流程得到了一種結(jié)構(gòu)輕薄、工藝簡(jiǎn)單、高靈敏度的微壓力傳感器。經(jīng)測(cè)試,本文制作的壓力傳感器的靈敏度能夠達(dá)到218 f F/mm Hg,在智能穿戴和可植入壓力檢測(cè)等領(lǐng)域顯示出較好的應(yīng)用前景。
【作者單位】： 南昌航空大學(xué)航空制造工程學(xué)院;清華大學(xué)精密儀器系;清華大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;南昌航空大學(xué)信息工程學(xué)院;軍械工程學(xué)院電子與光學(xué)工程系;
【關(guān)鍵詞】： 柔性MEMS 電容式 壓力傳感器 柔性電極
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51375263);國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(11162014)
【分類號(hào)】：TP212.1
【正文快照】： 微壓力傳感器在工業(yè)[1]、醫(yī)療衛(wèi)生[2]、環(huán)境監(jiān)測(cè)[3]等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用,其大多由硅、陶瓷等脆性材料制成。而智能可穿戴醫(yī)療[4]和可植入壓力檢測(cè)[5]等領(lǐng)域的快速發(fā)展對(duì)壓力傳感器的柔性、靈敏度、輕薄性和工作環(huán)境適應(yīng)性等方面提出了更高的要求。由于電容式壓力傳感器具有結(jié)構(gòu)

【相似文獻(xiàn)】

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