石墨烯柔性應(yīng)變傳感器機(jī)理研究與設(shè)計(jì)制造
發(fā)布時(shí)間:2022-02-15 07:45
無(wú)人變體飛行器是未來(lái)軍事斗爭(zhēng)的重要載體,對(duì)其機(jī)體結(jié)構(gòu)形變的精確感知是影響其任務(wù)成功性的重要因素。傳統(tǒng)應(yīng)變傳感器應(yīng)用于無(wú)人變體飛行器時(shí)具有剛性、體積大等諸多局限性,迫切需要研究一種柔性、可粘附的新型應(yīng)變傳感器。近年來(lái),新興材料石墨烯薄膜由于其優(yōu)異的力學(xué)、電學(xué)等特性,已成為柔性應(yīng)變傳感領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。但目前,該領(lǐng)域的研究多集中于石墨烯器件的結(jié)構(gòu)、工藝上,應(yīng)變敏感機(jī)理差異較大且尚不明確。同時(shí),石墨烯材料制備條件嚴(yán)苛,工藝復(fù)雜,成本高昂,難以在工程中實(shí)際應(yīng)用。針對(duì)該問(wèn)題,論文從低成本、靈敏度與量程相互平衡的角度出發(fā),對(duì)兩種低成本制備方法得到的石墨烯膜的應(yīng)變機(jī)理與傳感器的設(shè)計(jì)制造工藝開(kāi)展深入研究。論文主要內(nèi)容包括:1、基于導(dǎo)電路徑破壞理論的薄膜應(yīng)變敏感機(jī)理與傳感器結(jié)構(gòu)工藝設(shè)計(jì)在充分調(diào)研薄膜應(yīng)變敏感機(jī)理與石墨烯薄膜材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上,結(jié)合薄膜應(yīng)變傳感器現(xiàn)有敏感機(jī)理研究成果,提出了基于納米片重疊理論與導(dǎo)電路徑破壞理論相結(jié)合的石墨烯薄膜應(yīng)變敏感機(jī)理,推導(dǎo)出了敏感電阻的趨勢(shì)變化模型,實(shí)現(xiàn)了對(duì)內(nèi)部結(jié)構(gòu)不同的薄膜應(yīng)變敏感材料的特征描述。2、基于鎳基CVD石墨烯膜的柔性應(yīng)變傳感器以鎳基CVD(Chemica...
【文章來(lái)源】:國(guó)防科技大學(xué)湖南省211工程院校985工程院校
【文章頁(yè)數(shù)】:99 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
石墨烯是構(gòu)建其它維度碳材料的基本單元2004年,英國(guó)曼徹斯特大學(xué)的Novoselov和Geim等人[4]首次采用膠帶從高定
國(guó)防科技大學(xué)研究生院碩士學(xué)位論文第4頁(yè)1.2.2石墨烯柔性應(yīng)變傳感器研究現(xiàn)狀(1)石墨烯柔性應(yīng)變傳感器2008年,南洋理工大學(xué)的YuTing等人[29]研究了柔性基底上的石墨烯的拉曼光譜實(shí)驗(yàn),通過(guò)實(shí)驗(yàn)和統(tǒng)計(jì)的方法驗(yàn)證了石墨烯的應(yīng)變敏感特性,論證了其可以作為超敏感應(yīng)變傳感器的材料,從此開(kāi)啟了石墨烯作為柔性應(yīng)變傳感器的大門(mén)。2013年,韓國(guó)成均館大學(xué)的SangHoonBae等人[30]通過(guò)CVD法制備了約10層的石墨烯薄膜,通過(guò)掩膜、刻蝕、轉(zhuǎn)移等微納工藝在PDMS基底上制得石墨烯柔性應(yīng)變傳感器,如圖1.2所示。2014年新加坡南洋理工大學(xué)的ChaoyiYan等人[31]將褶皺石墨烯與納米纖維素相混合,在真空過(guò)濾后制得石墨烯納米紙,與柔性基底PDMS(聚二甲基硅氧烷)結(jié)合后制得可拉伸的石墨烯柔性納米紙,能夠?qū)崿F(xiàn)100%的應(yīng)變感知,包括拉伸、扭轉(zhuǎn)、彎曲。2014年愛(ài)爾蘭三一學(xué)院的ConorS.Boland等人[32]將液態(tài)膨脹石墨烯添加到天然橡膠中,開(kāi)創(chuàng)性的制成了一種新型導(dǎo)電復(fù)合材料,能夠感知在160Hz頻率的速度下變化的應(yīng)變,可以作為應(yīng)變傳感器的絕佳材料。圖1.2SangHoonBae等人制備的花狀石墨烯柔性應(yīng)變傳感器同年,韓國(guó)成均館大學(xué)TranQuangTrung等人[25]利用還原氧化石墨烯制作晶體管,在柔性基底上制作了傳感陣列,利用晶片之間的微耦合效應(yīng)能夠感受到0.02%的應(yīng)變,如圖1.3所示。
國(guó)防科技大學(xué)研究生院碩士學(xué)位論文第5頁(yè)圖1.3TranQuangTrung等人制作的石墨烯晶體管陣列應(yīng)變傳感器2014年,韓國(guó)科學(xué)技術(shù)研究院的YongJuPark等人[33]改進(jìn)石墨烯應(yīng)變傳感的工藝,采用彈性紗線與石墨烯結(jié)合的方式得到了柔性應(yīng)變傳感器。2016年,澳大利亞墨爾本皇家理工學(xué)院的ShuyingWu等人[34]基于石墨烯氣凝膠和蜂窩結(jié)構(gòu)裁剪技術(shù),設(shè)計(jì)了一種靈敏度可調(diào)的石墨烯柔性應(yīng)變傳感器。2017年韓國(guó)成均館大學(xué)的YoungjinPark等人[35]通過(guò)對(duì)流自組裝法制備了石墨烯納米片網(wǎng)絡(luò)薄膜,并嘗試了多層薄膜疊加的結(jié)構(gòu),得到了GF值(傳感器規(guī)格因數(shù),電阻變化率/應(yīng)變)最高達(dá)1697的傳感器。國(guó)內(nèi)相關(guān)研究起步稍晚,基本實(shí)現(xiàn)與國(guó)際同步。2011年,北京大學(xué)和中國(guó)科學(xué)院的WangY等人[36]將石墨烯帶轉(zhuǎn)移到預(yù)拉伸的PDMS上,釋放應(yīng)力后制成石墨烯波紋帶,得到GF值約為-2,應(yīng)變量程范圍約20%的波紋狀石墨烯傳感器。如圖1.4所示。圖1.4WangY等人制作的波紋狀石墨烯應(yīng)變傳感器
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]國(guó)外軍用小型無(wú)人機(jī)發(fā)展現(xiàn)狀及趨勢(shì)[J]. 趙曉宏. 輕兵器. 2017(11)
[2]石墨烯薄膜制備研究進(jìn)展[J]. 洪澤勇,高林. 山東化工. 2014(11)
[3]國(guó)外軍用無(wú)人機(jī)發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢(shì)[J]. 王樹(shù)源. 硅谷. 2014(18)
[4]石墨烯的化學(xué)氣相沉積法制備及其表征[J]. 鄒鵬,石文榮,楊書(shū)華,黃德歡. 材料科學(xué)與工程學(xué)報(bào). 2014(02)
[5]石墨烯的表征方法[J]. 彭黎瓊,謝金花,郭超,張東. 功能材料. 2013(21)
[6]石墨烯力學(xué)性能研究進(jìn)展[J]. 韓同偉,賀鵬飛,駱英,張小燕. 力學(xué)進(jìn)展. 2011(03)
[7]電接觸的接觸電阻研究[J]. 許軍,李坤. 電工材料. 2011(01)
[8]變體飛機(jī)典型形式的歷史發(fā)展及其應(yīng)用機(jī)型淺析[J]. 艾俊強(qiáng),李士途. 航空工程進(jìn)展. 2010(03)
[9]Ductility of metal thin films in flexible electronics[J]. NIU RongMei, LIU Gang, DING XiangDong & SUN Jun State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials and School of Materials Science & Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China. Science in China(Series E:Technological Sciences). 2008(11)
[10]滲流理論在復(fù)合型導(dǎo)電高分子材料研究中的應(yīng)用[J]. 楊建高,劉成岑,施凱. 化工中間體. 2006(02)
本文編號(hào):3626223
【文章來(lái)源】:國(guó)防科技大學(xué)湖南省211工程院校985工程院校
【文章頁(yè)數(shù)】:99 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
石墨烯是構(gòu)建其它維度碳材料的基本單元2004年,英國(guó)曼徹斯特大學(xué)的Novoselov和Geim等人[4]首次采用膠帶從高定
國(guó)防科技大學(xué)研究生院碩士學(xué)位論文第4頁(yè)1.2.2石墨烯柔性應(yīng)變傳感器研究現(xiàn)狀(1)石墨烯柔性應(yīng)變傳感器2008年,南洋理工大學(xué)的YuTing等人[29]研究了柔性基底上的石墨烯的拉曼光譜實(shí)驗(yàn),通過(guò)實(shí)驗(yàn)和統(tǒng)計(jì)的方法驗(yàn)證了石墨烯的應(yīng)變敏感特性,論證了其可以作為超敏感應(yīng)變傳感器的材料,從此開(kāi)啟了石墨烯作為柔性應(yīng)變傳感器的大門(mén)。2013年,韓國(guó)成均館大學(xué)的SangHoonBae等人[30]通過(guò)CVD法制備了約10層的石墨烯薄膜,通過(guò)掩膜、刻蝕、轉(zhuǎn)移等微納工藝在PDMS基底上制得石墨烯柔性應(yīng)變傳感器,如圖1.2所示。2014年新加坡南洋理工大學(xué)的ChaoyiYan等人[31]將褶皺石墨烯與納米纖維素相混合,在真空過(guò)濾后制得石墨烯納米紙,與柔性基底PDMS(聚二甲基硅氧烷)結(jié)合后制得可拉伸的石墨烯柔性納米紙,能夠?qū)崿F(xiàn)100%的應(yīng)變感知,包括拉伸、扭轉(zhuǎn)、彎曲。2014年愛(ài)爾蘭三一學(xué)院的ConorS.Boland等人[32]將液態(tài)膨脹石墨烯添加到天然橡膠中,開(kāi)創(chuàng)性的制成了一種新型導(dǎo)電復(fù)合材料,能夠感知在160Hz頻率的速度下變化的應(yīng)變,可以作為應(yīng)變傳感器的絕佳材料。圖1.2SangHoonBae等人制備的花狀石墨烯柔性應(yīng)變傳感器同年,韓國(guó)成均館大學(xué)TranQuangTrung等人[25]利用還原氧化石墨烯制作晶體管,在柔性基底上制作了傳感陣列,利用晶片之間的微耦合效應(yīng)能夠感受到0.02%的應(yīng)變,如圖1.3所示。
國(guó)防科技大學(xué)研究生院碩士學(xué)位論文第5頁(yè)圖1.3TranQuangTrung等人制作的石墨烯晶體管陣列應(yīng)變傳感器2014年,韓國(guó)科學(xué)技術(shù)研究院的YongJuPark等人[33]改進(jìn)石墨烯應(yīng)變傳感的工藝,采用彈性紗線與石墨烯結(jié)合的方式得到了柔性應(yīng)變傳感器。2016年,澳大利亞墨爾本皇家理工學(xué)院的ShuyingWu等人[34]基于石墨烯氣凝膠和蜂窩結(jié)構(gòu)裁剪技術(shù),設(shè)計(jì)了一種靈敏度可調(diào)的石墨烯柔性應(yīng)變傳感器。2017年韓國(guó)成均館大學(xué)的YoungjinPark等人[35]通過(guò)對(duì)流自組裝法制備了石墨烯納米片網(wǎng)絡(luò)薄膜,并嘗試了多層薄膜疊加的結(jié)構(gòu),得到了GF值(傳感器規(guī)格因數(shù),電阻變化率/應(yīng)變)最高達(dá)1697的傳感器。國(guó)內(nèi)相關(guān)研究起步稍晚,基本實(shí)現(xiàn)與國(guó)際同步。2011年,北京大學(xué)和中國(guó)科學(xué)院的WangY等人[36]將石墨烯帶轉(zhuǎn)移到預(yù)拉伸的PDMS上,釋放應(yīng)力后制成石墨烯波紋帶,得到GF值約為-2,應(yīng)變量程范圍約20%的波紋狀石墨烯傳感器。如圖1.4所示。圖1.4WangY等人制作的波紋狀石墨烯應(yīng)變傳感器
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]國(guó)外軍用小型無(wú)人機(jī)發(fā)展現(xiàn)狀及趨勢(shì)[J]. 趙曉宏. 輕兵器. 2017(11)
[2]石墨烯薄膜制備研究進(jìn)展[J]. 洪澤勇,高林. 山東化工. 2014(11)
[3]國(guó)外軍用無(wú)人機(jī)發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢(shì)[J]. 王樹(shù)源. 硅谷. 2014(18)
[4]石墨烯的化學(xué)氣相沉積法制備及其表征[J]. 鄒鵬,石文榮,楊書(shū)華,黃德歡. 材料科學(xué)與工程學(xué)報(bào). 2014(02)
[5]石墨烯的表征方法[J]. 彭黎瓊,謝金花,郭超,張東. 功能材料. 2013(21)
[6]石墨烯力學(xué)性能研究進(jìn)展[J]. 韓同偉,賀鵬飛,駱英,張小燕. 力學(xué)進(jìn)展. 2011(03)
[7]電接觸的接觸電阻研究[J]. 許軍,李坤. 電工材料. 2011(01)
[8]變體飛機(jī)典型形式的歷史發(fā)展及其應(yīng)用機(jī)型淺析[J]. 艾俊強(qiáng),李士途. 航空工程進(jìn)展. 2010(03)
[9]Ductility of metal thin films in flexible electronics[J]. NIU RongMei, LIU Gang, DING XiangDong & SUN Jun State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials and School of Materials Science & Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China. Science in China(Series E:Technological Sciences). 2008(11)
[10]滲流理論在復(fù)合型導(dǎo)電高分子材料研究中的應(yīng)用[J]. 楊建高,劉成岑,施凱. 化工中間體. 2006(02)
本文編號(hào):3626223
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